[發明專利]一種非接觸式硬盤表面粗糙度測量方法無效
| 申請號： | 91105893.1 | 申請日： | 1991-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN1069804A | 公開（公告）日： | 1993-03-10 |
| 發明（設計）人： | 陳家壁;張正澤;王菊香;仉漿銘;姚彩仙;李柱 | 申請（專利權）人： | 華中理工大學 |
| 主分類號： | G01B11/30 | 分類號： | G01B11/30;G01B21/30 |
| 代理公司： | 華中理工大學專利事務所 | 代理人： | 駱如碧 |
| 地址： | 430074 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 接觸 硬盤 表面 粗糙 測量方法 | ||
【權利要求書】：
1、一種非接觸式計算機硬盤表面粗糙度測量方法，其特征為用鋸齒波調制相位實現移相法干涉測量，用電荷耦合固體成象器件掃描接受干涉圖象，用微型計算機計算掃描各點初相位及微觀輪廓高度，從而測量12以上超精加工表面全部國家標準的粗糙度參數，即由鋸齒波驅動壓電陶瓷(PZT)使干涉顯微鏡的參考反射鏡沿光軸方向產生線性位移和鋸齒波式振動，從而形成線性相位調制，而移相產生的多幅干涉圖象由電荷耦合固體成象器CCD陣線掃描接受采集，其信號送入計算機中處理。最終可得被測表面粗糙度國家標準的各種參數，各幅干移圖象之間的象移步長由時鐘計數電路實現，為達到上述目的，必須確保鋸齒波驅動壓電陶瓷與成象器CCD線陣圖象采集同步工作。
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