[發明專利]磁盤表面參數測量儀

無效

• 申請號: 91103616.4
• 申請日: 1991-06-05
• 公開（公告）號: CN1018761B
• 公開（公告）日: 1992-10-21
• 發明（設計）人: 曹芒;李達成;趙洋;王佳
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 清華大學專利事務所
• 代理人: 羅文群

1、一種磁盤表面參數測量儀，包括氣浮導軌及導軌驅動系統、氣浮軸承及軸承驅動系統、氣浮平臺、空氣凈化器、減壓調壓系統，其特征在于還包括磁盤夾持器、光學傳感器、采樣控制器以及計算機控制和數據處理系統，磁盤夾持器上放有被測磁盤，并由氣浮軸承及軸承驅動系統使其轉動，光學傳感器置于氣浮導軌上，由導軌驅動系統使其作直線運動，氣浮軸承和氣浮導軌都置于氣浮平臺上，采樣控制器連接氣浮軸承和計算機控制以及數據處理系統，計算機控制和數據處理系統與采樣控制器和氣浮軸承相連接，同時也與氣浮導軌相連接。

2、如權利要求1所述的磁盤表面參數測量儀，其特征在于所述的光學傳感器的光源為穩頻激光器，由穩頻激光器發出的光經過反射鏡、分光鏡后分成兩束，其中被分光鏡透射的光束作為參考光，此參考光經過反射鏡的反射和分光鏡分射，入射到光電接收器上，另一束被分光鏡反射的光入射到聲光調制器，經聲光調制器衍射后的正一級光則作為測量光束，此測量光束經過分光鏡、透鏡以及45°分射棱鏡的作用，入射到被測磁盤片上并聚成一個光點，這個光點經磁盤表面反射后，再經過45°反射棱鏡、透鏡和分光鏡的反射，又經過分光鏡的透射，最后與參考光在光電接收器上匯合，形成干涉信號。