[其他]掃描電子顯微鏡多功能加載樣品臺

無效

• 申請號: 87214469
• 申請日: 1987-10-14
• 公開（公告）號: CN87214469U
• 公開（公告）日: 1988-07-20
• 發明（設計）人: 金嘉陵
• 申請（專利權）人: 上海鋼鐵研究所
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 上海專利事務所
• 代理人: 吳明華

本實用新型涉及掃描電子顯微鏡上的加載樣品臺，特別涉及一種掃描電子顯微鏡多功能加載樣品臺。

掃描電鏡是電子光學儀器領域內的一種重要設備，在材料、機械、醫學等科技和工業領域中獲得廣泛應用。通過對固定在樣品臺上的樣品加載，可以觀察到樣品（即材料）在受力狀態下的復雜變化過程，從而進行動態分析。現有的英國劍橋公司制造的掃描電鏡樣品臺，利用雙步進馬達，通過蝸輪蝸桿傳動，帶動模板及其上的樣品夾頭，對固定在樣品夾頭上的樣品作拉伸或壓縮加載，同時對樣品進行掃描觀察，以及通過傳感器將樣品的狀態參數檢測輸出（表頭指示）。這種樣品臺加載方式單一，只能進行拉伸加載或壓縮加載。加載方式變換時需將樣品臺及連帶的模板全部調換，調換工序繁復，時間長，且換下的部件不易保管。另外，其信號輸出只能表頭指針顯示，對于一些變化的細節不易觀察出，且不能進行參數記錄。

本實用新型的目的是為了提供一種能對樣品進行拉伸，壓縮，彎曲，剪切和沖壓加載的多功能加載樣品臺，掃描電鏡使用這種多功能加載樣品臺就有可能對各種負載方式的實際過程進行有效的模擬，達到切合實際的動態觀察目的。

本實用新型的進一步目的是在掃描電鏡上再配備一函數記錄裝置，將所測得的狀態參數記錄下來，以便與所觀察到的對應形貌進行綜合分析。

本實用新型的目的是通過下述方式實現的，一種掃描電鏡多功能加載樣品臺包括一雙步進馬達對稱加載系統，一對由雙步進馬達對稱加載系統驅動而能作相對運動的樣品臺底板，一對分別可拆卸地安裝在各樣品臺底板上的、用來固定試樣夾頭的模板，以及安裝在模板上的、給傳感器發信號的傳送桿。其中，一種用來進行絲材拉伸試驗的第二試樣夾頭能固定在所述的模板（即第一模板）上，第二試樣夾頭是兩對、其中各對的形狀與第一模板上的裝模凹槽形狀配合并可拆卸地安裝在裝模凹槽里的壓板，各對壓板接觸面的中間的對應位置上都有一條V型槽；或者，所述的模板是一種能固定剪切（沖壓）模，表面彎曲（壓縮）模和截面彎曲模的第二模板，第二模板是一對呈角尺形的模板，其中各水平長邊上有若干定位通孔，各水平長邊的后表面有一水平凸緣，而各垂直短邊的前表面上有一凸塊，凸塊的上側各有兩個安裝傳送桿的螺孔，各垂直短邊的前表面上還有一安裝前述各種模具、并使模具的一側緊靠著凸塊的一側的安裝面。

本實用新型還進一步包括一個能將傳送桿發給傳感器的信號以函數形式記錄下來的記錄裝置。

本實用新型的優點是提供了一種能對樣品進行拉伸、壓縮、彎曲、剪切和沖壓加載的多功能加載樣品臺，掃描電鏡使用這種樣品臺就擴大了它的使用功能，從而有可能對各種負載方式的實際過程進行有效的模擬，達到切合實際的動態觀察目的。而且能將測得的狀態參數記錄下來，以便與所觀察到的對應形貌進行綜合分析。

下面將結合附圖對本實用新型的實施例作詳細的說明：

圖1是加載樣品臺結構圖；

圖2是第一模板中的上模板正視圖；

圖3是圖2所示結構的右視圖；

圖4是第一模板中的下模板正視圖；

圖5是圖4所示結構的左視圖；

圖6是第一試樣夾頭的正視圖；

圖7是圖6所示結構的底視圖；

圖8是一對第二試樣夾頭的正視圖；

圖9是圖8所示結構的頂視圖；

圖10是第二模板中的、帶一塊截面彎曲凸模的上模板正視圖；

圖11是圖10所示結構的頂視圖；

圖12是第二模板中的、帶一塊截面彎曲凹模的下模板正視圖；

圖13是圖12所示結構的頂視圖；

圖14是剪切（沖壓）模的正視圖；

圖15是沿圖14A－A線的剖視圖；

圖16是表面彎曲（壓縮）模的正視圖；

圖17是圖16所示結構的頂視圖。

參看圖1，掃描電鏡的樣品臺1上滑動地安裝著一對底板－上底板2和下底板3，底板2和3在一雙步進馬達對稱加載系統（未示）驅動下能作相對（相向或相背）運動。雙步進馬達對稱加載系統中心位移小，負載能力高，且可隨意調整加載卸載的速率和方向。工作時，底板及固定在其上的模板和模具等置入掃描電鏡的樣品室中。

上底板2的前表面上有一定位凹槽4，前表面的下部有若干定位螺孔5。下底板3的前表面上也有一定位凹槽6，前表面的上部也有若干定位螺孔7。上底板2的前表面和下底板3的前表面位于同一平面上。上底板2和下底板3在與它們的運動方向垂直的方向上平行間隔一段距離。

在圖1中，上底板2的前表面上固定安裝著第一模板中的上模板8，下底板3的前表面上固定安裝著第一模板中的下模板9。第一模板是在已有技術中使用的模板。