[其他]耐高溫抗振型電容壓力傳感器

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 87209178
• 申請(qǐng)日: 1987-06-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN87209178U
• 公開(kāi)（公告）日: 1987-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王化祥;丁公元
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津大學(xué)
• 主分類號(hào): G01L9/12
• 分類號(hào): G01L9/12
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

屬于壓力檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。

目前國(guó)內(nèi)外用于壓力測(cè)量的傳感器主要是應(yīng)變式、壓電式、電容式幾種。應(yīng)變式不適于高溫測(cè)量，因其溫漂很大；壓電式雖可用于較高溫度場(chǎng)合，但信號(hào)處理復(fù)雜，價(jià)格昂貴，不適于廣泛應(yīng)用；以往研制電容式壓力傳感器一般用金屬和非金屬材料構(gòu)成，抗振性差，不適用于高溫場(chǎng)合測(cè)量。

本實(shí)用新型為了解決耐高溫及抗振性問(wèn)題，采用了耐高溫材料－氧化鋁陶瓷制成電容式壓力傳感器，如圖1所示，其特征是敏感器件由感壓膜片（1）和底座（2）兩部分組成。在感壓膜片上鍍有一園形公共電極（3），在底座上鍍有園形敏感電極（4）和環(huán)形參比電極（5）。位于中心的園電極與公共電極（3）構(gòu)成壓敏電容，位于邊緣的環(huán)形電極（5）與公共電極構(gòu)成參比電容。由于環(huán)形電極靠近邊緣位置，其電容量幾乎不隨壓力變化。因而提供了與壓敏電容等溫度系數(shù)的電容，便于實(shí)現(xiàn)溫度的補(bǔ)償。

為制造耐高溫抗振傳感器。選擇理想的膜片材料是關(guān)鍵，氧化鋁陶瓷是有熔點(diǎn)高、高溫下性能穩(wěn)定，可加工性能好等優(yōu)點(diǎn)。因此敏感器件的膜片是采用95A1203陶瓷，用軋片方法制成，經(jīng)排蠟，燒結(jié)后成型，燒結(jié)后的膜片經(jīng)粗，精研磨，不平行度小于10μ，光潔度高于6。基座采用75A1203陶瓷，經(jīng)熱壓鑄成型，排蠟燒結(jié)也經(jīng)粗，精研磨后與膜片匹配。在制作的膜片和底座瓷片上，用印刷方法將銀漿被在瓷片上進(jìn)行焙燒，溫度掌握在400－900℃為宜，保溫15－20分鐘后，可降溫冷卻。在基座上用25－40μ的云母片保證電容間隙，然后采用易熔玻璃（6）將膜片和底座封接在一起，考慮到封接的器件能承受較高的溫度，所以易熔玻璃選擇了TF01鉛玻璃，能把95、75A1203陶瓷很好地匹配封接，封接溫度500－700℃。

這種新型陶瓷電容壓力傳感器能在較高溫度下工作，且性能穩(wěn)定它可用于發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣口壓力測(cè)量，實(shí)現(xiàn)空燃比調(diào)節(jié)以達(dá)到節(jié)能效果。還可用于飛機(jī)、風(fēng)洞等壓力測(cè)量，也可用于真空測(cè)量。

該傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，價(jià)格便宜，適于大批量生產(chǎn)。