[其他]升華泵泵體

無效

• 申請號: 87207315
• 申請日: 1987-07-20
• 公開（公告）號: CN87207315U
• 公開（公告）日: 1988-03-09
• 發明（設計）人: 鄭主安
• 申請（專利權）人: 上海真空泵廠
• 主分類號: F04B37/02
• 分類號: F04B37/02
• 代理公司: 上海市機電工業管理局專利事務室
• 代理人: 夏永興

本實用新型涉及獲得高真空的吸附抽吸泵的泵體。

升華泵是一種吸氣劑泵，這種泵是將鈦金屬加熱，使其升華后，沉積到泵體內表面上，形成一層鈦膜來吸附氣體而達到抽氣目的。鈦升華泵工作壓力范圍為10^－3～10^－10Torr，起動壓力較高，一般為10^－2Torr。它在配有前級泵后，可組成無油超高真空機組，其抽吸真空泵可高達10^－11～10^－12Torr。廣泛應用于高能物理研究工作中。

升華泵泵體一般都按設計手冊進行設計，機械工程手冊第77篇（泵、真空泵）第14章給出了升華泵泵體的結構，它由不銹鋼制成，由泵底、本體和接頭部分組成，并設有冷卻水套，一般用水來冷卻本體部份，根據需要也可用液氮冷卻，以吸收加熱鈦升華時放出的熱量。泵體需有良好的剛度，壁厚一般達3毫米。這種泵體的結構比較復雜；另外，由于不銹鋼的導熱性能很差，雖然外壁進行冷卻，但內壁上的溫度仍然較高，影響泵的抽吸能力。

本實用新型的目的是設計一種結構簡單，散熱性能良好的泵體，從而能達到高的真空度。

本實用新型的目的是通過一種剛度好，且內壁沉積鈦膜的面積和外壁散熱面積均大得多的波紋管作泵體的主體部分來實現的，它與泵底和接頭部分焊接成一整體，不需要冷卻裝置，就能達到設計的性能和強度要求。

附圖為本實用新型的泵體結構，圖中1為泵底，2為升華源，3為波紋管本體，4為接頭。

接頭4，用不銹鋼制造，其上焊接安裝進氣法蘭，波紋管體3為標準的異型不銹鋼材，其壁厚為0.6～1毫米，對于抽速為每秒400升，極限真空為2×10^－10帕斯卡的鈦鉭絲升華泵，選用φ140／φ110的波紋管，壁厚為0.6～0.8毫米，波紋數為10，泵底用來安裝固定升華源的座體和引線等設施。接頭4用滾焊與波紋管本體3連接，泵底1和波紋管本體3用氬弧焊連接，接頭4與進氣法蘭及座體與泵底1均用氬弧焊連接，連接件之間應有良好的密封性。

本實用新型的泵體新結構，必要時還可增設風扇，進行強制通風，以提高冷卻效果。

以本實用新型作泵體設計的升華泵用于超高真空規管比對系統，取得為予期的效果，為提高我國超高真空技術提供了必要的設備，本實用新型還具有結構簡單，制造方便和成本點的特點，具有明顯的社會效益和經濟效益。