[其他]一種光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 87202450
• 申請(qǐng)日: 1987-02-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN87202450U
• 公開(kāi)（公告）日: 1987-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜賢和;劉劍平;方仲平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院
• 主分類號(hào): G02B21/08
• 分類號(hào): G02B21/08
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• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型涉及一種改進(jìn)的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)非相干光照明。特別適用于各種高倍光學(xué)顯微鏡。

現(xiàn)有的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)由光源、光闌、聚光裝置組成。由于光源燈絲面積和聚光系統(tǒng)孔欄的限制，照明物面的光都是部分相干或完全相干的。這樣當(dāng)微小物體經(jīng)顯微物鏡放大、成象在象面上時(shí)，總有物體的衍射象產(chǎn)生。被觀測(cè)物體越小，放大倍數(shù)越高，衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重。當(dāng)觀測(cè)微米級(jí)的微小物體時(shí)，由于衍射效應(yīng)，已難于看清微小物體的邊沿。而對(duì)于高倍光學(xué)測(cè)量顯微鏡，則無(wú)法正確測(cè)量。這是使用現(xiàn)有光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)所不可避免的缺陷。

本實(shí)用新型的目的是提供一種改進(jìn)的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)非相干光照明，消除由于相干光或部分相干光照明引起的衍射現(xiàn)象，大大提高光學(xué)顯微鏡的成象質(zhì)量。

本實(shí)用新型的目的是以下列方式實(shí)現(xiàn)的：該光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)由光源、光闌、聚光裝置、以及在聚光裝置與物面之間的漫透射板構(gòu)成。從光源發(fā)出的光經(jīng)光闌和聚光裝置后，射到漫透射板上。該漫透射板具有如下特性：當(dāng)光照亮該板時(shí)，它可作為一個(gè)由無(wú)數(shù)個(gè)點(diǎn)光源組成、光亮度極為均勻的余弦面發(fā)光體。光再?gòu)脑摪迳涑稣彰魑矬w。

采用這種光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)，照明光可不受聚光照明系統(tǒng)孔欄和光源燈絲大小的影響，實(shí)現(xiàn)非相干光照明，消除由于相干光或部分相干光照明引起的衍射條紋，提高象質(zhì)。同時(shí)能增大顯微鏡聚光照明系統(tǒng)的數(shù)值孔徑、提高照明均勻度，大大有利于光學(xué)顯微鏡的調(diào)焦、觀察和測(cè)量。本實(shí)用新型制造使用方便，采用下面要詳述的實(shí)施例結(jié)構(gòu)，其成本比普通的光學(xué)顯微鏡聚光照明系統(tǒng)幾乎沒(méi)有增加。

以下參照附圖，結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

圖1是本實(shí)用新型用在普通顯微鏡上一種具體結(jié)構(gòu)的原理剖面圖。

圖2是本實(shí)用新型用于一種線寬測(cè)量裝置上的結(jié)構(gòu)原理圖。

參照?qǐng)D1，本實(shí)用新型的第一個(gè)實(shí)施例是：光源1發(fā)出的光經(jīng)光闌2射入聚光裝置3，光線經(jīng)聚光裝置3會(huì)聚后射向漫透射板5，再經(jīng)漫透射板5散射，照明顯微鏡工作臺(tái)7上的物面8，實(shí)現(xiàn)非相干光照明。漫透射板5用0.1－4mm厚的微晶玻璃制成，最好是0.2－0.5mm厚的微晶玻璃；本實(shí)施例中最好是采用白色微晶玻璃；也可用多塊漫透射板材料疊加而成。漫透射板5安放在聚光鏡筒4內(nèi)，用壓圈6螺紋固緊。也可在光學(xué)顯微鏡上附加零件，將漫透射板5裝成在聚光裝置3與物面8之間能移入移出顯微鏡光路的獨(dú)立活動(dòng)元件。漫透射板5的表面應(yīng)垂直顯微鏡光軸9，聚光鏡筒4除在頂端增加安放漫透射板5的臺(tái)階10外，仍按普通光學(xué)顯微鏡聚光鏡安裝要求設(shè)計(jì)。若顯微鏡需用特定波長(zhǎng)的光照明，則只需選用相應(yīng)的光源或增加特定的濾光片。也有可能應(yīng)用只透過(guò)特定波長(zhǎng)光的微晶玻璃或具有微晶玻璃特性的其它材料制成漫透射板5。

圖2為本實(shí)用新型的第二個(gè)實(shí)施例。其原理與前面敘述的相同。光源1發(fā)出的光經(jīng)第一聚光鏡11、光闌2、反光鏡13，第二聚光鏡12后，會(huì)聚射向漫透射板5，再照明顯微鏡工作臺(tái)7上的物面8，實(shí)現(xiàn)非相干光照明。物體由光度式光電顯微物鏡系統(tǒng)14放大、光電接收。該實(shí)施例的特點(diǎn)在于：漫透射板5安裝在顯微鏡工作臺(tái)7內(nèi)，用壓圈6螺紋固緊。也可用其它安裝方法，將漫透射板5做成顯微鏡工作臺(tái)的一部分，在其上放置物體。

本實(shí)用新型還適用于所有帶有顯微物鏡儀器的顯微鏡照明使用。