[其他]徽型玻璃封裝溫度補償二極管

無效

• 申請號: 87201554
• 申請日: 1987-05-20
• 公開（公告）號: CN87201554U
• 公開（公告）日: 1988-06-22
• 發明（設計）人: 劉復康
• 申請（專利權）人: 威海市無線電二廠
• 主分類號: H01L21/28
• 分類號: H01L21/28;H01L23/08
• 代理公司: 煙臺市專利事務所
• 代理人: 郭守江

本實用新型屬半導體器件，更詳細的講是一種錄音機作穩速用的微型玻璃封裝溫度補償二極管。

錄音機電機若沒有穩速裝置，電機的轉速將隨環境溫度的變化而改變，這對錄音機來說是絕對不允許的，當錄音機電機采用二極管給以溫度補償時，而其轉速相對穩定。目前國外生產的這種二極管在工藝上采用合金法外，外殼采用半封密性的塑料封裝。在成批生產這種二極管的過程中勞動效率低、一致性難以保證，由于采用塑料外殼封裝易受環境變化的影響、熱敏性能差，由于以上原因限制了錄音機電機的使用壽命。

本實用新型的目的在于提供一種能夠克服上述缺點，適合錄音機電機作穩速用的二極管。

本實用新型是這樣實現的，在管芯的金屬電極上生長氮化硅或磷硅玻璃鈍化層，并進行選擇電鍍銀或金，以達到二極管的穩定、可靠性，使芯片便于分割成單個芯片。

本實用新型為了滿足穩定電壓和良好的熱穩定性能，根據外殼的尺寸，采用420×420平方微米至460×460平方微米范圍之內的P－H結面積和410×410平方微米至450×450平方微米范圍內的引線孔面積。

本實用新型將兩個管芯串聯的裝入玻璃殼內，再在玻璃殼兩端裝入引線，然后進行燒結形成微型玻璃封裝溫度補償二極管。

本實用新型發明人已小批量生產，并在實踐中應用，實踐證明采用本生產過程適合二極管的大批量生產，生產效率高，產品一致性好。錄音機電機應用本實用新型后，由于采用玻璃殼封裝，受環境影響小、熱敏性能好，能較穩定的保證錄音機電機轉速的相對穩定。由于本實用新型的穩定性、可靠性高，也提高了錄音機電機的使用壽命。

本實用新型具有性能好、工藝先進、結構緊湊、成本低的特點，并可以節約大量的外匯。

附圖說明：

圖1本實用新型的單個管芯結構示意圖。

其????????中：

1——硅片襯底

2——硅外延層

3——二氧化硅

4——P－N結面積

5——引線孔面積

6——蒸鈦

7——蒸金

8——氮化硅或磷硅玻璃層

9——電鍍窗口

10——電鍍銀

11——蒸鎳

12——蒸銀

13——電鍍銀

圖2本實用新型的結構示意圖。

其????????中：

14——玻璃殼

15——兩個串聯管芯

16——引線

17——色環

圖1所示，將電阻率ρ≤10^－3歐姆一厘米的襯底（1）和厚度為T＝6－8微米、電阻率為ρ＝0.1歐姆一厘米的外延層（2）H型硅片清洗處理；進行一次氧化和一次光刻形成的硅片的二氧化硅（3）保護膜；進行硼擴散形成了420×420平方微米至460×460平方微米范圍內的P－H結面積（4），達到硼擴散濃度要求、并生長一定厚度的氧化層；進行二次光刻形成410×410平方微米至450×450平方微米范圍內的引線孔面積（5）；然后在專用真空蒸發臺內分別對硅片正面進行蒸鈦（6）和蒸金（7），達到沉積的目的；進行第三次光刻，在金屬電極上生長氮化硅或磷硅玻璃層（8）；通過四次光刻，刻出電鍍窗口（9）；進行正面電鍍銀，形成金屬電極凸起（10）；通過專用減薄機對硅片背面進行減薄，然后分別進行蒸鎳（11）、蒸銀（12）和電鍍銀（13），然后將硅大圓片在專用劃片機上劃片分割成單個管芯。

圖2所示，在專用模具上裝好玻璃殼（14），兩個清洗后的管芯（15）串聯放入玻璃殼（14）內，再在玻璃殼兩端各裝入一根引線（16），在一定溫度下燒結后，玻璃殼（14）、管芯（15）、引線（16）達到全密封性封裝，最后打上色環（17），形成微型玻璃封裝溫度補償二極管。