[其他]在半導(dǎo)體功率元件的半導(dǎo)體薄片邊緣上開環(huán)形槽的方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 87107167
• 申請(qǐng)日: 1987-10-22
• 公開（公告）號(hào): CN87107167A
• 公開（公告）日: 1988-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吉里·德勞希;奧托·庫恩;安德烈亞斯·魯格
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: BBC勃朗·勃威力有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/304
• 分類號(hào): H01L21/304;B24B9/06;B24B19/02
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 肖掬昌,吳秉芬

1、一種在半導(dǎo)體功率元件的半導(dǎo)體薄片(5)邊緣上開環(huán)形槽(8)的方法，該方法是靠機(jī)械磨削將槽刻在半導(dǎo)體薄片(5)上的，其特征在于：

甲)首先，表面磨削半導(dǎo)體薄片(5)的邊緣；

乙)然后，采用邊緣相應(yīng)制成一定輪廓的成形砂輪(3)一次操作磨削出溝槽。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在磨削半導(dǎo)體薄片（5）表面的過程中，

甲）第一步先用粗磨砂輪（1）磨除多余的半導(dǎo)體材料，

乙）第二步再用精磨砂輪（2）精磨已形成的邊緣表面。

3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，

甲）全部磨削操作均使用金剛石砂輪;且

乙）在磨削操作過程中采用加有防銹劑的水作為冷卻劑。

4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，

甲）粗磨砂輪（1）和成形砂輪（3）的金剛砂粒以金屬結(jié)合劑結(jié)合;

乙）將精磨砂輪（2）的金剛砂粒嵌入合成結(jié)合劑中。

5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，

甲）所有砂輪上金剛砂粒的濃度約為4.4克拉/立方厘米;

乙）粗磨砂輪（1）含25微米平均粒徑的金剛砂粒，精磨砂輪（2）含20微米平均粒徑的金剛砂粒，成形砂輪則含16微米平均粒徑的金剛砂粒。

6、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所有砂輪（1，2，3）都配置在一公共砂輪軸（4）上。

7、根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，磨削操作是以35米/秒的磨削速率進(jìn)行的。

8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，

甲）在磨削過程中，半導(dǎo)體薄片（5）以相反于砂輪（1，2，3）的轉(zhuǎn)向轉(zhuǎn)動(dòng);和

乙）半導(dǎo)體薄片（5）的轉(zhuǎn)速約為80轉(zhuǎn)/分。

9、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在表面磨削過程中，半導(dǎo)體薄片（5）超出各砂輪（1，2）的邊緣平行于轉(zhuǎn)軸作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

10、根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，半導(dǎo)體薄片（5）朝砂輪進(jìn)給的速率，在粗磨時(shí)約為3毫米/分，在精磨時(shí)約為1毫米/分。