[其他]用于光閥的層流電子槍

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 87106620
• 申請日: 1987-09-29
• 公開（公告）號: CN87106620A
• 公開（公告）日: 1988-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 阿爾弗萊德·吉爾·羅森
• 申請（專利權(quán)）人: 通用電氣公司
• 主分類號: H01J29/48
• 分類號: H01J29/48;H04N5/74
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利代理部
• 代理人: 劉建國

1、一種舒利萊恩暗場型光閥用的層流電子槍，其特征在于包括：

一個(gè)工作在大約2000°K溫度，產(chǎn)生大約1.2安培/平方厘米束流密度的陰極；

一個(gè)有孔的第一電極，它靠近所述陰極并與該陰極同軸，其工作電壓為略高于所述陰極的正電壓，所述陰極和第一有孔電極一起構(gòu)成一個(gè)電位等于或接近等于所述第一有孔電極電位的實(shí)際上的陰極；

一個(gè)有孔的第二電極，它與所述第一有孔電極同軸并分開一段距離，其工作電壓為比所述陰極電壓高許多的正電壓，所述第二有孔電極的孔小于所述第一電極的孔；

一個(gè)有孔的第三電極，它與所述有孔第二電極同軸并分開一段距離，其工作電壓高于第二有孔電極，所述第三電極的孔小于所述第一和第二電極的孔。

2、一種如權(quán)利要求1所述的電子槍，其中第三電極的孔呈方形。

3、一種如權(quán)利要求1所述的電子槍，其中，所述陰極直徑約為0.030吋，所述陰極與所述第一電極之間的距離為0.012到0.080吋數(shù)量級。

4、一種如權(quán)利要求3所述的電子槍，其中所述第一電極與所述第二電極間的距離大約為0.188吋，所述第二電極與所述第三電極間的距離大約為0.22吋，所述第一電極的孔的直徑大約為0.02吋，所述第二電極的孔的直徑大約為0.01吋，所述第一電極的工作電壓范圍為+40伏到+80伏，所述第二電極的工作電壓范圍為+2000伏到+3000伏，而所述第三電極的工作電壓為大約+7200伏。

5、一種束流可調(diào)的層流電子槍，其特征在于包括一個(gè)平的陰極、柵極和至少兩個(gè)加速陽極，離所述陰極最遠(yuǎn)的加速陽極具有一個(gè)電子束成形孔，所述柵極和所述加速陽極與所述陰極在同一軸線上，每個(gè)所述加速陽極上帶有隨離開所述陰極距離的增加不斷減小孔徑的孔，所述加速陽極可與電源相接，生成靜電場，使電子能從陰極基本上以層流形式，在通過束成形孔的電子束中以最小束散角通過電子槍，電子束成形孔以電子光學(xué)方法成像到靶子上。

6、一種如權(quán)利要求5所述的電子槍，其中有三個(gè)加速陽極。

7、一種如權(quán)利要求5所述的電子槍，其中電子束成形孔為方形。

8、一種如權(quán)利要求5所述的電子槍，其中，陰極的工作溫度范圍為1200°～3，000°K，它所產(chǎn)生的電子束流密度可達(dá)4安培/厘米²。

9、一種如權(quán)利要求8所述的電子槍，其中第一加速陽極非常靠近所述陰極，所述第一加速陽極的工作電壓為略高于所述陰極電位的正電壓，所述陰極及所述第一加速陽極一起構(gòu)成一個(gè)電位等于或大約等于所述第一加速陽極電位的實(shí)際上的陰極。

10、一種如權(quán)利要求9所述的電子槍，其中有三個(gè)加速陽極，第二加速陽極的工作電位比所述陰極電位高，具有所述電子束成形孔的第三加速陽極的工作電位高于所述第二加速陽極的電位。

11、一種如權(quán)利要求9所述的電子槍，其中該束成形孔為方形。