[其他]濺射源用的充氣器

無效

• 申請號: 87105700
• 申請日: 1987-08-18
• 公開（公告）號: CN87105700A
• 公開（公告）日: 1988-03-30
• 發明（設計）人: 王德苗;任高潮;陳抗生
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 浙江大學專利代理事務所
• 代理人: 連壽金

1、一種能向陰極靶表面和工件表面分別噴射工作氣體和活性氣體的磁控濺射源用的充氣器，其特征在于構成該充氣器的工作氣體充氣器A和活性氣體充氣器B安裝在濺射頭底盤[6]上，分別向靶面和工件[16]表面噴射工作氣體和活性氣體。

2、按照權利要求1所述的充氣器，其特征在于所述的濺射頭底盤〔6〕上開有一個布置進氣管〔2〕的通孔，一個布置進氣管〔10〕的豎向深孔，一個與該豎向深孔相通的徑向深孔，圍繞上述通孔和豎向深孔分別布置若干個螺孔。

3、按照權利要求1所述的充氣器，其特征在于所述的工作氣體充氣器A包括一個上端面開有一個用于布置O型密封圈〔5〕的環形槽、軸向開有一個中心通孔以及圍繞中心通孔布置若干個通孔的小法蘭〔1〕，一個焊接在小法蘭〔1〕的中心通孔上的進氣管〔2〕，一個氣管〔4〕，以及一個連接進氣管〔2〕和氣管〔4〕的針閥〔3〕

4、按照權利要求2和3所述的充氣器，其特征在于所述的工作氣體充氣器A通過固定螺釘固定在濺射頭底盤〔6〕上。

5、按照權利要求1和2所述的充氣器，其特征在于所述的活性氣體充氣器B包括一個上端面開有一個用于布置O型密封圈〔13〕的環形槽、軸向開有一個中心通孔以及圍繞中心通孔的若干個通孔的小法蘭〔9〕，一個焊接在小法蘭〔9〕中心通孔的進氣管〔10〕，一個氣管〔12〕，一個連接進氣管〔10〕和氣管〔12〕的針閥〔11〕，一個同濺射頭底盤〔6〕徑向深孔相連接的導氣管〔14〕，以及一個同導氣管〔14〕相連接、布置在工件〔16〕周圍的噴氣環〔15〕，噴氣環〔15〕開有若干個能將活性氣體噴向工件〔16〕表面的噴氣孔，小法蘭〔9〕通過固定螺釘固定在濺射頭底盤〔6〕上。

6、按照權利要求1所述的充氣器，其特征在于所述的工作氣體充氣器A經針閥〔3〕調節的工作氣體經過進氣管〔2〕，從屏蔽罩〔7〕內側四周的間隙噴向陰極靶〔8〕的表面。

7、按照權利要求1所述的充氣器，其特征在于所述的活性氣體充氣器B通過針閥〔11〕調節的活性氣體經過進氣管〔10〕、導氣管〔14〕、從噴氣環〔15〕的噴氣孔噴向工件〔16〕的表面。