[其他]自振蕩光諧振傳感器

無效

• 申請號: 87105179
• 申請日: 1987-07-20
• 公開（公告）號: CN87105179A
• 公開（公告）日: 1988-02-03
• 發明（設計）人: 安東尼·C·吉爾比
• 申請（專利權）人: 福克斯保羅公司
• 主分類號: G01D5/26
• 分類號: G01D5/26;G02F1/00
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 曹濟洪,許新根

1、一種由光能源驅動機械諧振器的裝置，其特征在于，該裝置包括：

a)將所述光能連通到機械諧振器用的裝置；和

b)將光能轉換成諧振器的振動用的光干涉測量裝置。

2、如權利要求1的裝置，其特征在于，所述轉換的源對調制光增益G1與調制光對機械運動增益G2的乘積乘以入射光能I_o至少等于1。

3、如權利要求1的裝置，其特征在于，維持所述諧振器振蕩有一個功率閾值，要達到或超出此閾值。

4、如權利要求3的裝置，其特征在于，最好超出維持諧振器振蕩的閾值一個大于2的因數。

5、如權利要求1的裝置，其特征在于，諧振器系安置在真空中。

6、如權利要求1的裝置，其特征在于，振動著的諧振器對光起調制作用。

7、一種以光為能源的機械諧振裝置，用以在測量現場檢測物理參數或被測量，其特征在于，該裝置包括：

a）光能源裝置;

b）光通路裝置，用以將所述光能傳輸到所述測量現場;

c）能振動的諧振器裝置，具有振動的諧振頻率且系耦合到被測量;

d）將諧振器的諧振頻率變化與變化著的被測量聯系起來用的裝置;

e）將所述光能的至少一部分轉換成所述諧振器的機械運動用的裝置;

f）光干涉測量裝置，用以藉所述諧振裝置的運動調制至少一部分所述光能;

g）檢測裝置，用以將一部分所述調制光能轉換成與被測量有關的諸信號;和

h）將所述調制光能的所述信號部分送回到所述檢測裝置用的裝置。

8、如權利要求7的裝置，其特征在于，所述諧振裝置包括一個諧振帶狀物。

9、如權利要求7的裝置，其特征在于，所述諧振器包括至少一個機械梁元件。

10、如權利要求7的裝置，其特征在于，元件a）和g）系安置在第一位置，元件c）、d）、e）和f）系安置在分開的第二位置。

11、如權利要求10的裝置，其特征在于，所述光源的光能與第二位置連通，所述調制過的光能沿光纖通路裝置與第一位置連通。

12、如權利要求11的裝置，其特征在于，所述光通路裝置是單個光纖通路。

13、如權利要求7的裝置，其特征在于，所述光干涉測量裝置包括一個法布里-珀羅空腔。

14、如權利要求7的裝置，其特征在于，所述法布里-珀羅空腔與可振動的諧振器是一個整體。

15、如權利要求13的裝置，其特征在于，該裝置還包括薄膜涂層，用以改善法布里-珀羅光腔的技巧。

16、如權利要求13的裝置，其特征在于，法布里-珀羅光腔中的部分吸收性薄膜涂層用以直接將光能（通過光熱效應）轉換成諧振器的運動。

17、如權利要求13的裝置，其特征在于，所述法布里-珀羅空腔呈楔形。

18、如權利要求13的裝置，其特征在于，所述法布里-珀羅空腔空間毗鄰零或低級干涉，因而可以采用非單色光和多模光纖。

19、如權利要求7的裝置，其特征在于，所述光干涉測量裝置包括一個米切爾森干涉儀。

20、如權利要求19的裝置，其特征在于，所述光干涉測量裝置是一個會聚光束米切爾森干涉儀。

21、如權利要求7的裝置，其特征在于，所述將所述調制光能轉換成機械能的裝置包括將光能轉換成熱能的裝置。

22、如權利要求7的裝置，其特征在于，所述將所述調制光能轉換成機械能的裝置包括將光能轉換成電能的裝置。