[其他]圓形硅杯的電化學(xué)腐蝕

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 87103891
• 申請(qǐng)日: 1987-05-27
• 公開（公告）號(hào): CN87103891A
• 公開（公告）日: 1988-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張聲良;劉恩科;周宗閩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安交通大學(xué)
• 主分類號(hào): C25F3/12
• 分類號(hào): C25F3/12
• 代理公司: 西安交通大學(xué)專利事務(wù)所
• 代理人: 徐文權(quán)

1、一種半導(dǎo)體硅壓阻式壓力傳感器中園形硅杯的電化學(xué)腐蝕，采用含氟的腐蝕液[11]，在n⁺襯底上外延一層n型層，并在n⁺面上作好選擇性掩膜圖形的待腐蝕硅片[6]與腐蝕液[11]之間有不斷的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，在外加電場(chǎng)作用下達(dá)到腐蝕n⁺的目的，其特征是腐蝕液[11]采用NH₄F水溶液；用SiO₂作選擇性腐蝕掩膜；待腐蝕硅片[6]的作好SiO₂選擇性腐蝕掩膜的一面蓋上有足夠大內(nèi)徑的下橡皮圈[5]后，被夾在接向直接電源[10]負(fù)極的多孔銅電極[7]和接向直流電源[10]正極的銅電極[8]之間；腐蝕液[11]不斷噴射入多孔銅電極[7]，直達(dá)待腐蝕硅片[6]進(jìn)行腐蝕。

2、按照權(quán)利要求1所述的園形硅杯的電化學(xué)腐蝕，其特征是腐蝕液〔11〕存放在有機(jī)玻璃容器〔1〕中;具有百葉窗式長(zhǎng)孔〔3〕的中空的攪拌器〔2〕的不斷旋轉(zhuǎn)，使腐蝕液〔11〕從中空的攪拌器〔2〕下部不斷噴出和受連續(xù)攪拌;有機(jī)玻璃容器〔1〕的下部牢固連接一個(gè)U形件〔13〕;靠上橡皮圈〔4〕，用穿過(guò)U形件〔13〕的固緊螺絲〔9〕，把銅電極〔8〕、待腐蝕硅片〔6〕、下橡皮圈〔5〕和多孔銅電極〔7〕四者壓向有機(jī)玻璃容器〔1〕下部的園形開口〔12〕進(jìn)行對(duì)腐蝕液〔11〕的密封。

3、按照權(quán)利要求1或2所述的園形硅杯的電化學(xué)腐蝕，其特征是腐蝕液〔11〕采用5～6重量百分比的NH₄F水溶液;電場(chǎng)強(qiáng)度為75V/cm;攪拌器〔2〕轉(zhuǎn)速約300～400轉(zhuǎn)/分，可達(dá)8～10μm/min腐蝕速度。