[其他]階梯襯底內條形激光器無效
| 申請號: | 87103851 | 申請日: | 1987-05-24 |
| 公開(公告)號: | CN87103851A | 公開(公告)日: | 1988-12-14 |
| 發明(設計)人: | 杜國同 | 申請(專利權)人: | 吉林大學 |
| 主分類號: | H01S3/19 | 分類號: | H01S3/19 |
| 代理公司: | 吉林大學專利事務所 | 代理人: | 崔麗娟 |
| 地址: | 吉林省*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 階梯 襯底 條形 激光器 | ||
1、一種內條形半導體雙異質結激光器,其特征在于電流隔離層和雙異質結構一次液相外延完成生長,電流通路在外延生長過程中自然形成。
2、一種按照權項1所述的激光器,其特征在于外延前襯底腐蝕成倒梯形階梯。
3、一種按照權項2所述的激光器,其特征在于采用P型GaAs襯底,電流隔離層只需生長0.5~1μm。
4、一種按照權項3所述的激光器,其特征在于電流隔離層生長時要控制0~6℃過冷度,生長時很短(1~15秒)。
5、一種按照權項3、4所述的激光器,其特征在于有源區生長成含Al的AlyGa1-yAs材料,y值可在0.05~0.3之間變化,上下限制層的Al含量x值也適當提高。
6、一種按照權項1所述的激光器,其特征在于外延前襯底腐蝕成倒梯形窄臺階。
7、一種按照權項1所述的激光器,其特征在于外延前襯底分段腐蝕成倒梯形階梯和窄臺階。
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