[其他]干式真空泵

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 87103739
• 申請日: 1987-05-29
• 公開（公告）號: CN87103739A
• 公開（公告）日: 1988-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡煥林
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥工業(yè)大學(xué);南京真空泵廠
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C18/344;F04C29/02
• 代理公司: 國家機(jī)械工業(yè)委員會機(jī)械專利事務(wù)所
• 代理人: 孫文彩,曹敏

本發(fā)明涉及一種真空泵，特別是一種能使被抽真空系統(tǒng)清潔、無油污染的干式真空泵。

目前在核真空技術(shù)、稀有金屬冶煉、半導(dǎo)體器件制造、等離子技術(shù)、食品和醫(yī)藥真空包裝等方面，應(yīng)用最為普遍的是油封機(jī)械泵，它包括旋片式、滑閥式、定片式或真空泵。這些真空泵依靠真空泵油潤滑、密封和保證在低壓強(qiáng)時(shí)微量氣體的排出。在應(yīng)用過程中，在旋片式泵等的高級腔中的真空泵油會有少量被拋向被抽系統(tǒng)，另外高級腔中的真空泵油也會慢慢地向被抽系統(tǒng)和管道“爬行”。這些被拋入和“爬行”入被抽系統(tǒng)的真空泵油，在低壓強(qiáng)下不斷揮發(fā)，雖然被泵本身抽走一部分，但還是有不少油氣返流而污染被抽系統(tǒng)。這種油氣污染是十分有害的，尤其對食品、醫(yī)藥包裝會直接影響到人身健康。蘭州物理研究所有關(guān)專家對旋片式真空泵的返油量所作的測試結(jié)果表明，油氣對被抽系統(tǒng)的污染十分嚴(yán)重。早在五十年代人們就曾設(shè)想用一種無油真空泵代替如旋片式等有油真空泵，但無油泵的一個十分突出的問題是壓縮比不高。后來又有人提出用旋片式無油泵與有油的旋片式泵等聯(lián)合成機(jī)組形式，上海原子核研究所曾作過試驗(yàn)，極限真空可達(dá)10^-3托，降低返油率達(dá)95%～97%。但由于這種機(jī)組形式的價(jià)格十分昂貴。因此，在工業(yè)上至今未能廣泛采用。

本發(fā)明的目的是提供一種能夠使被抽真空系統(tǒng)清潔、無返油污染，整體式結(jié)構(gòu)的且價(jià)格低廉的，適合于工業(yè)生產(chǎn)和廣泛應(yīng)用的干式真空泵。

本發(fā)明所述的干式真空泵，為達(dá)到上述目的，真空泵的吸氣系統(tǒng)采用無油干級、吸附級和油封級三級串聯(lián)的整體式吸氣結(jié)構(gòu)。如圖1所示，無油干級（5），此級全無油，從進(jìn)口（15）吸入的氣體經(jīng)無油干級（5）輸送到吸附級（22），起凈化和予壓縮作用。吸附級（22）由裝有幾層氧化鋁分子篩的濾網(wǎng)組成，有吸收氣體中的水蒸氣和防止油封級（12）含油氣體返流的作用。油封級（12）把經(jīng)無油干級（5）、吸附級（22）輸來的氣體依靠變?nèi)菰砑罢婵毡糜偷淖饔冒褮怏w壓縮排出。如圖2所示，上述的三級串聯(lián)整體式吸氣結(jié)構(gòu)中，無油干級和油封級同軸。電動機(jī)帶動皮帶輪使無油干級的轉(zhuǎn)子（4）和油封級的轉(zhuǎn)子（10）同時(shí)轉(zhuǎn)動，兩轉(zhuǎn)子都與泵腔相切，且轉(zhuǎn)子都與泵腔偏心安裝。如圖4和圖5所示，在泵軸轉(zhuǎn)動時(shí)，泵腔的空腔Ⅰ和Ⅰ′不斷增大，吸氣;空腔Ⅱ和Ⅱ′達(dá)最大后逐漸變小，壓縮氣體;空腔Ⅲ和Ⅲ′不斷變小壓縮氣體，使氣體被壓縮排出。

下面結(jié)合實(shí)施例及附圖對本發(fā)明所述的真空泵做進(jìn)一步地描述。

圖1為干式真空泵實(shí)施例的工作原理圖。

圖2為干式真空泵實(shí)施例的主視圖;

圖3為干式真空泵實(shí)施例的左視圖;

圖4為干式真空泵的無油干級轉(zhuǎn)子和泵腔工作示意圖;

圖5為干式真空泵的油封級轉(zhuǎn)子和泵腔的工作示意圖;

圖6為干式真空泵的轉(zhuǎn)子和泵腔110°的切點(diǎn)結(jié)構(gòu)示意圖;

圖中，1是大氣通道，2是貼片，3是無油干級旋片，4是無油干級轉(zhuǎn)子，5是無油干級，6是無油干級泵腔，7是油封，8是泵軸，9是中壁，10是油封級轉(zhuǎn)子，11是油封級旋片，12是油封級，13是油封，14是皮帶輪，15是進(jìn)氣口，16是油封級泵腔，17是排氣口，18是密封圈，19是排氣閥，20是防噴油結(jié)構(gòu)，21是氧化鋁分子篩，22是吸附級，23是泵油。