[其他]機(jī)加光電工藝

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 87103656
• 申請(qǐng)日: 1987-05-22
• 公開（公告）號(hào): CN87103656A
• 公開（公告）日: 1988-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁秉良
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 袁秉良
• 主分類號(hào): C25D1/08
• 分類號(hào): C25D1/08
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1、機(jī)加光電工藝屬電真空工藝。

2、光刻、玻璃模版濺靶電鍍或拷貝電鍍工藝對(duì)此工藝進(jìn)行理解，檢索，審查有參考作用。如1951年的2805986號(hào)專利和以后的2529086號(hào)專利。

3、本工藝的目的：

用精密機(jī)械加工，光電，化學(xué)等工藝和一般的物質(zhì)條件代替必須有高精密照像制版機(jī)和高精密長(zhǎng)線條玻璃刻線機(jī)以及其整一套高物質(zhì)條件的光刻和玻璃模版濺靶電鍍或拷貝電鍍工藝制取電子束管一系列各種不同面積、線數(shù)、透明度和金屬的方孔靶網(wǎng)。

4、發(fā)明的內(nèi)容：

1）原理：用精密機(jī)械加工兩支螺桿，平行裝成方框架，將絲繞進(jìn)道道螺紋制成直線絲架，拷貝制出方孔底版代光刻工藝的照像制底版和玻璃模版濺靶電鍍工藝的刻制玻璃模版;用拷貝電鍍工藝制網(wǎng)代光刻工藝的曬象腐蝕制網(wǎng)和玻璃模版濺靶電鍍制網(wǎng)。并用螺紋的道數(shù)和兩次曝光時(shí)用平行移位模調(diào)整距離使線數(shù)倍增來(lái)控制線數(shù);用螺桿的長(zhǎng)度來(lái)控制面積，用絲料的直徑控制線條的粗細(xì)和網(wǎng)的透明度。用電鍍不同的金屬控制金屬。則可制出各種不同線數(shù)、透明度、面積和金屬的方孔靶網(wǎng)。

2）工藝：

（1）精密機(jī)械加工兩支一級(jí)精度，100線/cm，140cm長(zhǎng)的不銹鋼螺桿，使其平行裝成正方形框架。螺紋的深度使絲繞好后約有三分之一在螺紋外。如示意圖。

（2）選擇眼力好、細(xì)心，耐心和有事業(yè)心的人，在適當(dāng)強(qiáng)而柔和的燈光下，固定穩(wěn)絲料，試驗(yàn)訓(xùn)練將12μ金屬絲繞進(jìn)道道螺紋，制成直線絲架。

（3）在細(xì)微粒羅甸干片上用直線絲架拷貝，將100W的燈泡裝上長(zhǎng)圓形筒，距離約2～3米，曝光約5分鐘，制成直線底版。

（4）用直線底版和同樣干片，兩次正交曝光，拷貝制成方孔底版。

（5）同樣干片和直線底版，在兩次曝光時(shí)用平行移位模調(diào)整線間距離，使線數(shù)成倍增加，以提高線數(shù)。

（6）羅甸干片的制取：

①選用特選平玻璃，切成所需大小的正方形。

②洗凈后在帶水的情況下，用1%的蛋白液上一層極薄的蛋白，涼干。

③在蛋白片上涂上一層碘化棉膠液。其配方是：在1.5%的白羅甸100毫升中加6～8毫升的由碘化鎘18.76克;碘化銨8.54克;溴化銨3.2克;蒸餾水33毫升;酒精200毫升配成的紅碘液。

④待膠液半干時(shí)，浸入10%的硝酸銀液中，待光敏層（鹵素銀鹽）均勻后取出。

⑤在自來(lái)水中沖100～120分鐘。

⑥用蒸餾水洗后，再于蒸餾水中浸3分鐘。

⑦在用丹檸酸100克;檸檬酸5克;蒸餾水1000毫升配成的增感液浸3分鐘。取出在空氣中涼干，即成羅甸干片。

（7）拷貝電鍍：

①如（3）用羅甸干片及方孔底版曝光。

②用1分1%的硝酸銀液加3分由檸檬酸0.5克;對(duì)苯二酚10克;蒸餾水100毫升配成的溶液的顯影液顯影。

③在一般的硫代硫酸鈉液中定影。

④如需要加厚、用顯影液加厚。

⑤需要減薄，用3分25%的硫代硫酸液加1分25%的鐵氰化鉀液，再加4分蒸餾水的減薄液。

⑥將拷貝出的方孔網(wǎng)線版，檢查線條合格，導(dǎo)電性能好后，裝好導(dǎo)電性能好的掛具，在一般和脈沖或反向電鍍槽內(nèi)進(jìn)行電鍍，得網(wǎng)。

5、發(fā)明與已有工藝相比的優(yōu)點(diǎn)及積極效果：

1）本工藝比光刻和玻璃模濺靶電鍍或拷貝電鍍工藝都簡(jiǎn)短。只要加工成一個(gè)直線絲架就能拷貝出大生產(chǎn)所需的大量底版;除加工絲架外，全部工藝只有拷貝和拷貝電鍍;只要有合格底版，15～30分鐘就能拷貝電鍍出一片網(wǎng)。這比光刻有了合格底版曬象腐蝕網(wǎng)和有玻璃模版后濺靶電鍍網(wǎng)都能縮短1～多倍時(shí)間。

2）本工藝制直線絲架不需要如光刻和玻璃模版濺靶電鍍所需的大面積恒溫濕，高真空衛(wèi)生的工作間，也不需要專門的高精密機(jī)器，和其整一套附屬設(shè)備及其所需的昂貴優(yōu)質(zhì)的金屬箔或光學(xué)玻璃，金剛石刀具及其磨料等。只要委托精密機(jī)械加工部門加工一個(gè)框架。用手工繞上絲，在一般的暗房和電鍍間，搞好真空衛(wèi)生，用一般的化工和金屬材料就能出與已有工藝相同的產(chǎn)品-網(wǎng)。這不但適合大生產(chǎn)，尤其適合物質(zhì)條件差的單位生產(chǎn)。

3）光刻工藝由于照像制底的放大圖或模型不易精密，照像時(shí)又易失真和招灰，腐蝕工藝又不易控制質(zhì)量，成品率最低。玻璃模版刻制工藝長(zhǎng)，成品率約為45%左右。一塊玻璃模版濺靶電鍍100次左右就得報(bào)廢，而且所出的網(wǎng)也有一定的報(bào)廢。本工藝制的原大直線絲架比放大圖和模型都精密，拷貝又不易失真和招灰，故制出的底版質(zhì)量高。同理拷貝電鍍網(wǎng)的質(zhì)量也高。