[其他]電子能譜儀

無效

• 申請號: 87103626
• 申請日: 1987-05-19
• 公開（公告）號: CN87103626A
• 公開（公告）日: 1988-06-01
• 發明（設計）人: 伊安·羅伯特·米歇爾·瓦德爾;彼得·阿蘭·科克森
• 申請（專利權）人: VG儀器集團有限公司
• 主分類號: G01N23/227
• 分類號: G01N23/227;G01T1/36
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 劉暉

1、一個用于產生電子發射表面圖象的電子能譜儀，上述能譜儀包括：

a)使上述表面發射電子的裝置；

b)第一靜電透鏡系統，至少把某些所述電子投射到第一衍射面上，作為至少部分上述表面電子圖象的傅里葉變換；

c)具有物平面和與其共軛的第一圖象表面的環形電容式靜電能量分析儀，上述分析儀的上述物平面與上述第一衍射平面重合并投射上述傅里葉變換電子作為上述第一圖象平面內的能量偏差傅里葉變換；

d)能量選擇裝置，用本發射只在所選能量范圍內的上述能量偏差傅里葉變換電子；

e)第二靜電透鏡系統，用來接收上述能量選擇裝置發出的電子并且隨后把部分所述表面電子圖象投射到第二圖象平面上。

2、如權利要求1中所述的能譜儀，還包括一個傳輸靜電透鏡系統，該透鏡系統配置在上述表面和上述第一靜電透鏡系統之間，接收上述表面所發射的電子，并將其投射成一個電子圖象。

3、如權利要求2中所述的能譜儀，其中上述靜電變換透鏡系統至少為16倍的放大倍數。

4、如權利要求3中所述的能譜儀，其中上述靜電變換透鏡系統有在16至64倍間可調的放大倍數。

5、如權利要求1至4中任何一個所述能譜儀，還包括配置在上述表面和上述能量分析之間的裝置，用來只允許離開該表面的電子在選定的角度范圍方向上進入到上述分析儀內。

6、如權利要求1至5中任何一個所述的能譜儀中有一個安置在上述第二圖象平面中的第一電子檢測裝置。

7、如權利要求6所述的能譜儀，還包括一個可伸縮式安裝的第二電子檢測裝置，該裝置配置在上述第一圖象面內。

8、如權利要求6中所述的能譜儀，還包括一個孔徑第二電子檢測裝置，該裝置配置在上述第一圖象面內。

9、如權利要求1至8中任何一個所述的能譜儀，其中上述能量分析儀為一個球形電容器型電能量分析儀。

10、如權利要求9中所述的能譜儀，其中在上述第一圖象平面和上述平面之間的角度是在150度至190度范圍內。

11、如權利要求1至10任何一個中所述的能譜儀，其中把上述能量分析儀調整到使那里的中心軌道的電位與所述表面的電位不同。

12、如權利要求11中所述的能譜儀，其中上述能量分析儀被調整到至少以50電子伏特的通道能量進行工作。

13、一種形成電子發射表面圖象的方法，上述方法包括：

a）使電子從表面被發射，

b）上述電子中的至少一部分通過第一靜電場，此靜電場調整到使上述表面中至少一部分的電子圖象在第一衍射面上產生傅里葉變換;

c）穿過上述衍射面所述傅里葉變換的電子中至少一部分通過由一個環形電容器型靜電分析器所產生的第二靜電場，該分析器有一個物平面和一個第一圖象平面，上述物平面與上述第一衍射面相重合，從而在上述第一圖象面內產生一能量偏差的傅里葉變換;

d）選擇能量在所范圍內的電子;

c）使所述選擇的電子通過一個第三靜電場，此靜電場調整到使電子聚焦在第二圖象平面中形成一個第二電子圖象，此第二電子圖象包括在上述選定范圍內各種能量的電子。

14、一個電子能譜儀依次包括：

a）使上述表面發射電子的裝置;

b）第一靜電透鏡系統，至少把某些上述電子投射到第一衍射面上，作為至少一部分上述表面的電子圖象的傅里葉變換;

c）具有物平面和與其共軛的第一圖象表面的環形電容式靜電能量分析儀，上述分析儀的所述物平面與所述第一衍射平面重合并投射上述傅里葉變換電子作為上述第一圖象平面內的能量偏差傅里葉變換;

d）一個電子檢測裝置用來檢測所述能量偏差傅里葉變換電子的電子。