[其他]化學鍍銅及其鍍浴

無效

• 申請號: 87102861
• 申請日: 1987-04-16
• 公開（公告）號: CN87102861A
• 公開（公告）日: 1987-12-09
• 發明（設計）人: 約翰·威爾伯特·米勒斯;吉爾·D·阿爾德森
• 申請（專利權）人: 礦山安全設備公司
• 主分類號: C23C18/40
• 分類號: C23C18/40
• 代理公司: 上海專利事務所
• 代理人: 景星光

1、一種化學鍍銅鍍浴，主要包括具有下列組成的一種水溶液：

(1)大約0.6～6.4克/立升的水溶性銅鹽，

(2)大約6～50克/立升的乙二胺四乙酸，

(3)大約2.5～12.5克/立升的二甲胺甲硼烷，

(4)大約2.5～50克/立升的亞硫基二乙酸，

(5)大約2.5～1000克/立升的環氧乙烷和炔屬乙二醇的表面活性劑反應產物，和

(6)用足量的NH₄OH將PH值調節到大約8.0～11.5之間。

2、根據權利要求1的鍍浴，其中炔屬乙二醇是2，4，7，9-四甲基-5-癸炔-4，7-二醇。

3、根據權利要求1的鍍浴，其中銅鹽是硫酸銅。

4、根據權利要求2的鍍浴，其中銅鹽是硫酸銅。

5、根據權利要求1的鍍浴，該鍍浴的PH值在9.5～10.5之間，含有大約3.2克/立升的硫酸銅、大約12克/立升的乙二胺四乙酸、大約5.5克/立升的二甲胺甲硼烷、大約10毫克/立升的亞硫基二乙酸，和大約11毫克/立升作為表面活性劑加合物的環氧乙烷和2，4，7，9-四甲基-5-癸炔-4，7-二醇。

6、一種在一種基底上化學沉積銅的方法，在大約25℃～80℃之間將基底與一種水鍍浴接觸，該鍍浴含有：

（1）大約0.6～6.4克/立升的一種水溶性銅鹽，

（2）大約6～50克/立升的乙二胺四乙酸，

（3）大約2.5～12.5克/立升的二甲胺甲硼烷，

（4）大約2.5～50克/立升的亞硫基二乙酸，

（5）大約2.5～1000克/立升的環氧乙烷和一種炔屬乙二醇的表面活性劑反應產物，和

（6）用足量的NH₄OH將PH值調節到大約8.0～11.5之間。

7、根據權利要求6的一種方法，其中鍍浴的PH值大約在9.5～10.5之間，并含有大約3.2克/立升的硫酸銅、大約12克/立升的乙二胺四乙酸、大約5.5克/立升的二甲胺甲硼烷、大約10毫克/立升的亞硫基二乙酸和大約11毫克/立升作為表面活性劑加合物的環氧乙烷和2，4，7，9-四甲基-5-癸炔-4，7-二醇。