[其他]計量裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 87102434
• 申請日: 1987-03-04
• 公開（公告）號: CN87102434A
• 公開（公告）日: 1987-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 休·羅杰斯·萊恩;彼得·迪安·翁揚
• 申請（專利權(quán)）人: 蘭克·泰勒·霍布森有限公司
• 主分類號: G01B5/20
• 分類號: G01B5/20;G06F15/46
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 曹濟(jì)洪,許新根

1、計量裝置包括一個用來安放一件工件的可旋轉(zhuǎn)部件(4)，用以旋轉(zhuǎn)該部件的第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)(33)，在可旋轉(zhuǎn)部件旋轉(zhuǎn)期間為了檢測安放在可旋轉(zhuǎn)部件(4)上的一件工件的表面的傳感器(12、14)，用來相對于工件安放部件(4)移動并支撐傳感器(12、14)的部件(10)，用來使該傳感器(12、14)移動的第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)(35、37)，和為了提供計量數(shù)據(jù)而處理從該傳感器(12、14)得到的接收信號的數(shù)字計算機(jī)部件(22、30、40)，其特征是，該數(shù)字計算機(jī)部件(22、30、40)按照從該傳感器(12、14)得到的信號來控制工件和傳感器(12、14)之間的相對移動，使得該傳感器沿著工件表面并根據(jù)該信號和該傳感器的移動來提供計量數(shù)據(jù)。

2、按照權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是，所說的支撐部件（10）支撐該傳感器（12、14）在一個相對于該可旋轉(zhuǎn)部件（4）的徑向方向移動。

3、按照權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是，所說的支撐部件（10）支撐該傳感器（12、14）在一個相對于該可旋轉(zhuǎn)部件（4）的軸向方向移動。

4、按照權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是，所說的支撐部件（10）支撐該傳感器（12、14）在相對于該可旋轉(zhuǎn)部件（4）的徑向和軸向兩個方向移動。

5、按照權(quán)利要求2或4所述的裝置，其特征是，所說的該傳感器（12、14）可在相對于該可旋轉(zhuǎn)部件（4）的一個徑向平面上檢測一件工件的外形和所說的計算機(jī)部件可按照從該傳感器（12、14）得到的信號去控制該第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)（35）在徑向方向去移動該傳感器，以使得傳感器（12、14）是沿著該工件表面。

6、按照權(quán)利要求3或4所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）是用來檢測平行于可旋轉(zhuǎn)部件（4）的軸的工件的外形，所說的計算機(jī)部件（22、30、40）可控制該第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)（27），按照從該傳感器（12、14）得到的信號，使得該傳感器（12、14）沿著工件表面在軸向方向上移動。

7、按照權(quán)利要求4所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）可選擇地工作在徑向平面上去檢測工件外形的第一狀態(tài)或在軸向平面上去檢測工件外形的第二狀態(tài)，該計算機(jī)部件（22、30、40）相應(yīng)地去控制傳感器（12。14）在徑向或軸向的任一個方向上移動。

8、按照上述任何權(quán)利要求所述的裝置，其特征是，所說的數(shù)字計算機(jī)部件的工件是根據(jù)由該傳感器（12、14）得到的信號去控制第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)（33），使得傳感器（12、14）沿著該工件表面。

9、按照上述任何權(quán)利要求所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）包括一個具有同工件表面相接觸的一個頂端的觸針（12）和一個在單一平面上響應(yīng)于觸針（12）偏移產(chǎn)生的信號的變換器（14），為了從第一狀態(tài)變到第二狀態(tài)，該變換器（14）和觸針（12）一起可旋轉(zhuǎn)。

10、按照上述任何權(quán)利要求所述的裝置，其特征是，該傳感器（12、14）產(chǎn)生一個相對于被檢測表面變化為線性的輸出信號。

11、按照權(quán)利要求10所述的裝置，其特征是，所說的計算機(jī)部件（22、30、40）控制該第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)（35、37）以保持該傳感器（12、14）靜止不動，直到其輸出信號超過一予定門限。

12、按照權(quán)利要求10或11所述的裝置，其特征是，在所說的計算機(jī)部件（22、30、40）中，當(dāng)其輸出為一予定值時，根據(jù)所存貯的對應(yīng)傳感器（12、14）位置的信號提供計量數(shù)據(jù)。

13、按照上述任何權(quán)利要求所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）具有優(yōu)于20毫微米的分辨率。

14、按照權(quán)利要求13所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）可以分辨到12毫微米。

15、按照權(quán)利要求14所述的裝置，其特征是，所說的傳感器（12、14）適于檢測外形的變化達(dá)到0.4毫米。

16、根據(jù)上述任何權(quán)利要求所述的裝置，其特征是，對傳感器（12、14）位置的分辨至少在一個方向上分辨到500毫微米以內(nèi)。