[其他]紫外光源和光化反應的方法

無效

• 申請號: 87102347
• 申請日: 1987-03-24
• 公開（公告）號: CN87102347A
• 公開（公告）日: 1987-09-30
• 發明（設計）人: 山崎舜平;大島喬;浦田一男;田代衛;店村悠爾;今任慎二;伊藤健二;尾高政一;林茂則;宏瀨直樹
• 申請（專利權）人: 株式會社半導體能源研究所
• 主分類號: H01J61/24
• 分類號: H01J61/24;H01J61/52;C23C16/00
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 吳增勇,吳秉芬

1、一套紫外光源，其特征在于包括：

一個有著把工作媒質的蒸汽以適當負壓進行氣閉密封于其中的透明器壁的真空容器；

設置在所述容器內，用于放電的陰極和陽極端子；

用于冷卻所述端子的裝置。

2、根據權利要求1的光源，其特征在于，它是用于化學氣相淀積系統中的。

3、根據權利要求2的光源，其特征在于，所述容器是一根用石英制成、其任何一端都是封閉的管子。

4、根據權利要求3的光源，其特征在于，所述冷卻裝置是一對分別蓋在所述封閉端上、冷卻水通過它們進行循環的罩帽。

5、根據權利要求4的光源，其特征在于，所述管子的所述兩端是由所述罩帽封閉的。

6、根據權利要求5的光源，其特征在于，所述各罩帽的內面都是用導熱材料制成的。

7、一套紫外光源，其特征在于包括：

-一根真空的管子;

-設置在所述管子內、其間發生放電的陽極和陰極;

-在所述管子內、被所述輝光放電激勵而發射紫外光的汽化工作媒質;

-設置在所述管子上、用于以液態形式貯存所述媒質的冗余量的儲蓄池;以及

-用于冷卻所述儲蓄池的裝置。

8、根據權利要求7的光源，其特征在于，所述儲蓄池設置在不發生等離子體的部位。

9、根據權利要求8的光源，其特征在于，所述工作媒質是汞。

10、根據權利要求9的光源，其特征在于，所述放電為弧光放電。