[其他]供給氣缸的關(guān)閉和流量控制閥

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 87102179
• 申請日: 1987-02-18
• 公開（公告）號: CN87102179A
• 公開（公告）日: 1987-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 保羅·G·艾茲莫
• 申請（專利權(quán)）人: 保羅·G·埃茲莫
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K31/06;F16K1/52
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 曹濟(jì)洪

本申請是正在審理中的申請?zhí)枮????的接續(xù)申請，其題為“流體流量隔斷和控制裝置及方法”;它又是1984年11月28日提出的，申請?zhí)枮?75825題為“流體流量控制閥及方法”的后續(xù)申請;而它又是1982年7月16日提出的申請?zhí)枮?98845題為“流量限制閥”的后續(xù)申請，該申請所涉及的主要內(nèi)容包括在審理中的申請?zhí)枮????，題為“流量壓力調(diào)節(jié)裝置及方法”申請之中。

本發(fā)明介紹了用于壓力氣體供給氣缸的關(guān)閉閥，特別是控制氣體關(guān)閉、手控氣體流量、過流控制、壓力調(diào)節(jié)流量控制的按鈕式控制閥，全部裝在一個直接聯(lián)接壓力氣體供給氣缸上的安全閥體之中。

周知的閥依靠內(nèi)閥桿來控制壓力氣體的流量，該內(nèi)閥桿借助于一個旋轉(zhuǎn)閥桿或其它類似物進(jìn)行外部控制，這樣的閥桿需要旋轉(zhuǎn)或滑動密封以防在閥桿周圍泄漏壓力氣體。這樣的手控閥被廣泛用在壓力氣體供給氣缸頂部作主關(guān)閉閥。然而，由于目前在半導(dǎo)體工業(yè)中廣泛使用高毒性氣體，已經(jīng)促使對與使用慣用的關(guān)閉閥有關(guān)的安全性差問題進(jìn)行仔細(xì)檢查，這種閥采用易失效的旋轉(zhuǎn)密封件，同時該關(guān)閉閥需很大的手動旋轉(zhuǎn)行程以關(guān)閉來自氣缸的壓力氣體流。這些閥不適于快速控制緊急情況下的火災(zāi)或毒氣泄漏及類似情況，而且，這些關(guān)閉閥很容易與過流控制閥、壓力調(diào)節(jié)裝置等混淆，更進(jìn)一步妨礙了這些常閉閥的通常的手動控制。另外連接到主關(guān)閉閥上有關(guān)的高壓連接件由于氣缸的跌落或暴露元件被沖擊或氣體管路移動而易造成嚴(yán)重?fù)p壞使其泄漏、破裂。

在本發(fā)明中，用改進(jìn)的按鈕式控制閥代替了在壓力氣體供給氣缸上的慣用主關(guān)閉閥，改進(jìn)的按鈕式關(guān)閉閥沒有那種會把壓力氣體泄漏到四周的密封結(jié)構(gòu)，本發(fā)明利用一個單元部件完成過流控制和壓力調(diào)節(jié)功能，它在供給氣缸上方只有極小的外露部分，高度一體性以防止氣體泄漏是采用對閥體中裝有閥元件進(jìn)行磁驅(qū)動而保證的，閥體于組裝后所有接縫與連接點均用電子縫焊技術(shù)密封。

附圖1給出了本發(fā)明閥的一個實施例的斷面圖;

附圖2是附圖1中的閥手動控制處于全開位置的斷面圖;

附圖3是附圖1中的閥作為過流控制器而使用時的斷面圖;

附圖4是附圖1中的閥體內(nèi)裝有一個改進(jìn)的壓力調(diào)節(jié)裝置的斷面圖。

參考附圖1中的普通圓柱閥殼體9的內(nèi)示圖，其圓柱體的下端通過螺紋而直接連接到氣體供給氣缸的頂端。一個標(biāo)準(zhǔn)出口連接件11焊接13到閥殼體9上，例如，采用常見的電子束焊接技術(shù)。該閥殼體9在入口通道17和出口通道19之間有一個內(nèi)中心孔15，在孔15的入口側(cè)有一個環(huán)繞密封面或閥座21?；钊?5被滑動地裝在入口通道17內(nèi)而且?guī)в幸粋€用適宜材料如全氟彈性材料（可從Dupont????co，選用如KALREZ）做成的彈性墊或密封件23與閥座21配合起到密封作用。該活塞元件25在它的普通圓柱外表面上開有槽或平面，其原因后述，使一定壓力的氣體通過活塞元件25和孔15（當(dāng)閥打開時）而流到出口通道19中去。彈簧29和彈簧座31配置在活塞元件25的下方以便把密封件23彈性地推動到氣密常閉狀態(tài)，與閥座21保持密封接觸。當(dāng)然，閥座31上需開有通口32，或以圓套孔中成方形等形式使壓力氣體通過。采用壓力增力密封和彈簧增力密封21，23是由中心桿33控制的，該中心桿被連接到活塞元件25上，并向孔15伸出到出口通道19中。一個封裝有磁鐵37的滑動元件35可滑動地安裝在出口通道內(nèi)，可選擇地對桿33施加控制力以打開在孔15周圍形成的密封。該元件35靠彈簧29（借助于活塞35和中心桿33）支撐，如圖1所示，封裝有磁鐵41的驅(qū)動按鈕39處于遠(yuǎn)離位置時將不影響閥的常閉狀態(tài)。應(yīng)該注意的是磁鐵37和41方向是互相排斥的，因此也可以通過這種排斥力并借助于彈簧29支承按鈕39和磁鐵41的重量。端盤40可以通過電子束焊焊接到出口通道上端的殼體9上以密封殼體防止可能的泄漏。本發(fā)明中的另部件可由這樣的材料如不銹鋼、鋁或塑料等制成，以便焊接成一體、防止泄漏而不對磁鐵41產(chǎn)生的外部控制磁場有太大的影響。按鈕39的圓柱形保持和導(dǎo)引件43可以靠一個安裝螺釘45或其它方便的連接方法固定到殼體9上，并形成了按鈕39的三個不同的控制位置，如附圖1、2、3所示。