[其他]光電轉(zhuǎn)換器及其制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 87100057
• 申請日: 1987-01-06
• 公開（公告）號: CN87100057A
• 公開（公告）日: 1987-07-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山崎舜平
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社半導(dǎo)體能源研究所
• 主分類號: H01L31/06
• 分類號: H01L31/06;H01L31/10;H01L31/18
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 肖春京

1、一種光電轉(zhuǎn)換器，其特征在于，該光電變換器包括：

一個(gè)透明襯底；

一個(gè)設(shè)在所述襯底上配置有電極的光敏半導(dǎo)體層；和

一個(gè)設(shè)在所述襯底上與所述半導(dǎo)體層毗鄰并與所述半導(dǎo)體層的周邊接觸的樹脂層，所述樹脂層與所述樹脂層周邊之間的接觸系采用所述半導(dǎo)體層作為掩模以腐蝕所述樹脂層，因而極為貼近，從而在所述接觸部分大體上不存在寄生通道。

2、一種圖象傳感器，其特征在于，該圖象傳感器包括：

一個(gè)襯底;和

配置在所述襯底上的光敏半導(dǎo)體陣列，所述陣列各元件由一半導(dǎo)體層和一對配置在所述半導(dǎo)體層相對表面上且完全遮蓋所述相對表面的電極所組成。

3、根據(jù)權(quán)利要求2的傳感器，其特征在于，所述第一和第二電極與所述半導(dǎo)體層彼此重疊。

4、根據(jù)權(quán)利要求2的傳感器，其特征在于，該傳感器還包括多個(gè)分別與所述第一電極接觸的信號引出線。

5、根據(jù)權(quán)利要求2的傳感器，其特征在于，該傳感器還包括一層配置在所述陣列元件各相鄰元件之間的樹脂層。

6、根據(jù)權(quán)利要求5的傳感器，其特征在于，所述樹脂層的上部表面不高于所述半導(dǎo)體層的上部表面。

7、根據(jù)權(quán)利要求5的傳感器，其特征在于，所述樹脂層與所述半導(dǎo)體層齊平。

8、一種制造由多個(gè)傳感器元件組成的圖象傳感器的方法，其特征在于，該方法包括：

制備襯底工序;

在所述襯底上加設(shè)電極的工序;

在所述第一電極上敷上光電半導(dǎo)體層的工序;

在所述半導(dǎo)體層上加設(shè)第二電極的工序;

用多個(gè)掩模在所述安置在分別與傳感器元件相對應(yīng)位置上的第二電極上、一次腐蝕所述第一和第二電極以及所述半導(dǎo)體層的工序。

9、根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其特征在于，該方法還包括制造多個(gè)引出所述元件輸出用的導(dǎo)線的工序。

10、根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其特征在于，，該方法還包括在所述各元件之間配置樹脂層的工序。

11、根據(jù)權(quán)利要求10的方法，其特征在于，所述襯底是透明的。

12、根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其特征在于，所述樹脂層系以所述各個(gè)元件作為掩模用光蝕刻法蝕刻陰性感光性樹脂形成的。

13、根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，蝕刻條件系這樣選擇，使剩余的樹脂層與所述半導(dǎo)體層齊平。

14、根據(jù)權(quán)利要求1的光電轉(zhuǎn)換器，其特征在于，所述電極結(jié)構(gòu)包括設(shè)在所述半導(dǎo)體層一個(gè)表面上的第一電極和設(shè)在所述半導(dǎo)體層另一個(gè)表面上的第二電極。

15、根據(jù)權(quán)利要求14的光電轉(zhuǎn)換器，其特征在于，所述第一電極系制成透明電極，使入射光可射到所述光電半導(dǎo)體層上，所述第二電極則制成不透明的電極。

16、根據(jù)權(quán)利要求14的光電轉(zhuǎn)換器，其特征在于，所述第一和或第二電極系制成透明電極，使入射光可射到所述光電半導(dǎo)體層上。

17、根據(jù)權(quán)利要求14的光電轉(zhuǎn)換器，其特征在于，半導(dǎo)體層和第一和第二電極之間的接觸系電阻性接觸。

18、根據(jù)權(quán)利要求17的光電轉(zhuǎn)換器，其特征在于，所述半導(dǎo)體層含有n-i-n結(jié)、p-i-n結(jié)或m-i結(jié)。