[其他]一種空心陰極放電離子鍍刀具裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 86209747
• 申請(qǐng)日: 1986-12-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN86209747U
• 公開(kāi)（公告）日: 1987-10-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 莊謹(jǐn);解正國(guó);石銘德;胡立芳;胡久大
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 清華大學(xué)專利事務(wù)所
• 代理人: 張志東

1、一種離子鍍刀具裝置，由真空鍍膜室以及和它聯(lián)系的真空系統(tǒng)，充氣系統(tǒng)，水冷系統(tǒng)，電控系統(tǒng)和裝卸料車組成，其真空鍍膜室又由空心陰極離子鍍槍，水冷銅坩堝，工件轉(zhuǎn)動(dòng)夾具，烘烤加熱爐，轟擊濺射電極及隔熱屏蔽板組成其特征在于：

a.空心陰極槍與坩堝成60°～80°方位布置，

b.坩堝聚焦線圈置于真空室外，

c.工件轉(zhuǎn)動(dòng)夾具采用整體可拆卸框架式三軸自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。