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[其他]氣相色譜儀用載氣或輔助氣供給調節組合閥無效

專利信息
申請號: 86206448 申請日: 1986-09-03
公開(公告)號: CN86206448U 公開(公告)日: 1987-09-02
發明(設計)人: 龐增義;李春富 申請(專利權)人: 北京分析儀器廠
主分類號: G01N30/00 分類號: G01N30/00
代理公司: 北京市儀器儀表專利事務所 代理人: 張洪年
地址: 北京市溫泉北*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 色譜儀 用載氣 輔助 供給 調節 組合
【說明書】:

實用新型是一氣相色譜儀用載氣或輔助氣供給調節組合閥。

組合閥是氣相色譜儀的重要部件,它可用于氣相色譜儀中載氣、氫氣、輔助氣或空氣的調節控制,也可用于要求氣體質量流量恒定控制的其它場合,如催化反應,半導體工業等。

國內外氣相色譜儀普遍使用單獨的穩壓閥和穩流閥,在儀器中把一個穩壓閥和兩個穩流閥通過許多管道、接頭和密封件連接在一起,使儀器結構復雜化、增加了體積和重量,不利于儀器的小型化。安裝時既費時又費料,且易漏氣,常常造成儀器工作不穩定、可靠性差。

本新型的“氣相色譜儀用載氣或輔助氣供給調節組合閥”(見圖一)采用了新穎的設計,把一個穩壓閥和兩個穩流閥巧妙地組合在一起,這不但簡化了結構、減少了加工工作量、節省了原材料,而且裝配調校也方便簡單。組合閥具有獨特的互補性能,能消除周圍環境的溫度、壓力產生的影響,從而提高了組合閥的穩壓、穩流特性。

下面是本新型的實施例,通過該實施例的描述和附圖,給出了本新型的細節。

本實施例中圖一是氣相色譜儀用載氣或輔助氣供給調節組合閥的結構圖。組合閥的上半部是一個穩壓閥,下半部是兩個穩流閥,對稱地分布在左右兩側。由氣源輸入的氣流首先進入閥體(25)的C孔內,然后向上輸至穩壓閥。

當旋轉穩壓閥的調節旋鈕(1)時頂絲(2)帶動螺桿(3)產生旋轉運動,與此同時、螺桿沿著上閥蓋(7)向下移動,并把滾珠座(8)、彈簧(9)、螺母(11)、硬心墊(12)、穩壓閥膜片(13)、硬心墊螺釘(14)向下推動,直至推開閥芯(16)和錐面密封墊圈(18),使塔形彈簧(19)受力。由于閥芯上錐面密封墊圈與閥芯座(15)之間產生了間隙,從C孔輸入的氣流向上經過密封墊(20)的內孔和環形間隙進入穩壓閥的氣腔內。當穩壓閥膜片上方和下方的作用力達到平衡時,穩壓閥輸出一個恒定氣壓,并由D孔輸至壓力表指示。

當壓力表的指示值達到所需的壓力值時可將鎖定螺母(4)擰緊。用螺母(5)和墊圈(6)把組合閥固定在儀器中。穩壓閥的上閥蓋通過螺栓(10)緊固在閥體上。穩壓閥的閥芯、錐面密封墊圈、閥芯座與穩壓閥膜片之間的配合非常適當,使穩壓閥膜片經常處于不受力的狀態。由于采用了錐面結構,使調節量更加精細,配以塔形彈簧,使閥芯的位置穩定,并能自動對中,從而改善了穩壓特性。

恒定氣壓從穩壓閥氣腔底的左右兩孔同時輸向穩流閥。穩流閥由針形調節部分和流速控制部分組成。穩流閥的針形調節部分由穩流閥調節旋鈕(26)、頂絲(27)、閥針(28)、螺帽(29)、“O”形圈(30)、螺母(31)、閥套(32)、密封圈(33)、閥座(34)和密封環(35)組成。當旋轉穩流閥調節旋鈕時頂絲帶動閥針產生旋轉運動,由于閥針的錐度小、同心度好、光潔度高,所以調節精細,且有良好線性,在符合要求的性能范圍內旋鈕可以轉動5~6圈。當閥針沿著閥座向前移動,由于它們之間產生了間隙,進入穩流閥的氣流經此間隙后通過閥套上的孔和環形空間輸至穩流閥流速控制部分的主腔內。

穩流閥的流速控制部分由主腔和反饋腔組成。反饋腔由穩流閥膜片(36)和閥蓋(37或17)組成,并用螺栓(38)緊固在閥體的側面上。進入穩流閥的恒定氣壓通過反饋孔直接輸至反饋腔內。主腔內安裝著噴咀(21)、密封墊圈(22)、閥芯組件(23)和彈簧(24)。噴咀的孔徑要小,噴咀口與閥芯之間要配合適當,使穩流閥膜片經常處于不受力的狀態。由針形調節部分輸至主腔內的氣流經過噴咀口與閥芯之間的間隙進入噴咀孔內,當主腔內的壓力與反饋腔內的壓力籍助于穩流閥膜片達到平衡時,從E孔輸出質量流量恒定的氣流。

本新型的組合閥下半部左右各有一個穩流閥,圖一左面畫的是穩流閥的針形調節部分,右面畫的是穩流閥的流速控制部分。由氣源輸入的氣壓從C孔輸入穩壓閥腔體內,一路從D孔輸至壓力表,顯示其恒定的壓力值。另外二路輸入穩流閥,最后從E孔和F孔分別輸出質量流量恒定的氣流。在閥體上雖然各種直徑的孔很多,但由于設計得當,在加工過程中不需增添工藝孔。本組合閥的優點是穩壓、穩流的精度高、調節性能好、體積小、工作可靠。

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