[其他]超高真空自動閥門-液壓驅動

無效

• 申請號: 86203140
• 申請日: 1986-05-12
• 公開（公告）號: CN86203140U
• 公開（公告）日: 1987-10-28
• 發明（設計）人: 張廷杰;孫金龍;徐新發;林介
• 申請（專利權）人: 國營華東電子管廠
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K31/12;F16K1/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于無油高真空或超高真空系統的自動閥門。

無油真空泵以其優良的高真空性能而廣泛用于尖端技術、科學試驗和工業生產。無油真空泵要求始終處于高真空狀態，否則將遭到破壞。但實際應用中，真空系統難免偶然漏氣，例如在電真空器件生產線上，由于大部分器件的外殼是玻璃結構，因而在器件加工過程中，突然性漏氣是經常發生的。這對于造價昂貴的無油真空泵來說，無疑是災難。為了在這種嚴重的情況下，能迅速將無油真空泵保護起來，必須有一個能快速啟閉的自動閥門。

現有的高真空閥門中，有一些電動、磁動和氣動的擋板閥、蝶閥等可供選擇。但它們共同性的問題是啟閉時間長（均大于2秒），不具備快速反應這一關鍵功能。其中氣動閥門相對來說稍好些，但必須攜帶體積龐大的氣壓泵系統，而且氣壓包所貯存的壓力有限。因此上述閥門均不合適。

本實用新型針對以上問題提出新的設計方案，它既能在正常操作下起截止氣流的作用，又能在非常情況下快速響應，隔離系統，以保護無油泵。是快速截流的自動化部件。

本實用新型由閥體、閥門及閥門的操作部分組成，閥門的操作部分采用活塞式液壓缸。閥門部分直接通過閥桿與活塞相連接，該部分由不銹鋼波紋管形成可活動的密封結構。閥頭與閥體上的其軸向截面有兩條斜線構成的呈刀口狀的閥座間有軟性材料做成的閥蓋，以形成良好的密封。

附圖（一）為本閥門在真空系統中的一種應用示意圖。圖中1為閥門；2為無油泵；3為真空室；4為真空度傳感器；5為液壓驅動系統，其工作狀態受真空度傳感器的監控，并由此操縱閥門。

附圖（二）為閥門結構示意圖。其中6為閥蓋；7為閥體；8為閥頭；9為不銹鋼波紋管；10為閥桿；I為閥座（即閥體7與閥蓋6的壓封部分）。

附圖（三）為閥座Ⅰ的放大圖。

本實用新型的要點是將閥門設計成活塞式，讓閥蓋6與閥桿10連成一體，沿閥桿軸向做直線往復運動，使閥蓋行程最短，加快了速度。此外，配置了一臺小型液壓驅動裝置，它提供的推力足以保證閥門不受閥蓋兩側壓力差的限制而快速動作，并且在關閉時閥蓋能嚴密地壓封在閥座上，可靠地截斷氣流。

附圖（二）中閥蓋6可選用氟橡膠或無氧銅。閥體7和閥頭8、閥桿10等均選用1Cr18Ni9Ti不銹鋼。9是作為活動密封用的不銹鋼波紋管。各可拆連接部分均用軟金屬墊圈壓封。圖中P所示的為所配置的小型液壓驅動裝置的油路，高壓油進入活塞缸內，推動活塞作往返直線運動，從而帶動閥頭上的閥蓋完成快速啟閉功能。

附圖（三）所示的閥座（Ⅰ），應制成由兩個斜面構成的刀口，其刀口的頂端具有一定的曲率半徑。刀口的形狀既應保證當閥蓋壓封其上時，能有效地嵌入閥蓋以截斷氣流，同時又不切傷閥蓋，延長閥門壽命。

本實用新型的應用實例所配置的小型液壓裝置能提供20～100（千克／厘米²）的壓力。閥蓋材料選用氟橡膠，並經過100℃～200℃的烘烤處理。閥座刀口兩斜面之間夾角取60°。

按照本實用新型制作的閥門可達到啟閉速度快（啟閉時間≤0.2秒），控點準確，啟閉不受閥蓋兩側壓差限制的效果。它適用于各種無油高真空或超高真空系統，既可作為通常的截止閥，更適于作為快速截流的自動保護部件。