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[其他]表面改性用高能寬束發散場考夫曼離子源無效

專利信息
申請號: 86201075 申請日: 1986-03-01
公開(公告)號: CN86201075U 公開(公告)日: 1986-12-31
發明(設計)人: 馮毓材 申請(專利權)人: 中國科學院空間中心
主分類號: H01J37/08 分類號: H01J37/08
代理公司: 中國科學院專利事務所 代理人: 戊志敏
地址: 北京市海*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 表面 改性 高能 束發 散場 考夫曼 離子源
【權利要求書】:

1.一種表面改性用高能寬束發散場考夫曼離子源由放電室、絕緣子和加速系統組成,本實用新型的特征是考夫曼源的外部有絕緣套管12處于正高電位的后蓋板1,離子源的出口法蘭13。

2.按權利要求1所述的考夫曼離子源其特征為后極靴4伸進放電室部分是放電室總長的1/8~1/5,陰極5伸進放電室部分是放電室總長的3/7~5/7。

3.按權利要求1所述的考夫曼離子源其特征為柵極采用具有正高壓引出柵3和負高壓抑制柵的單孔引出系統。

4.按權利要求1所述的考夫曼離子源其特征為絕緣子的連接螺釘21要放在絕緣子本體內,并與絕緣子端有一間隙。

5.按權利要求1、4所述的考夫曼離子源其特征為付抑制柵20與絕緣子本體之間的距離為0<ΔL<10毫米,(L1×2+L2)×n>2L。

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