[其他]單晶連續生長裝置無效
| 申請號: | 86200234 | 申請日: | 1986-01-31 |
| 公開(公告)號: | CN86200234U | 公開(公告)日: | 1986-10-22 |
| 發明(設計)人: | 施仲堅;李惠章;劉金龍 | 申請(專利權)人: | 中國科學院聲學研究所 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 中國科學院聲學研究所專利辦公室 | 代理人: | 崔茹華,夏秀英 |
| 地址: | 北京市中*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 連續 生長 裝置 | ||
1、一種采用白金質坩堝提拉單晶的裝置,其特征在于它由拉晶爐(7),退火爐(8),降溫區(9),(10),晶體運輸機械系統(15),(16),(17),(18),隔熱堵頭11-1,11-2,11-3,11-4,溫度控制裝置所構成。
2、按權利要求1所述的裝置,其特征在于該裝置由四個區Ⅰ,Ⅱ,Ⅲ,Ⅳ所組成,各級鄰區分別由隔熱堵頭11-1,11-2,11-3,11-4連接。
3、按權利要求1所述的裝置,其特征在于各區的溫度由PID與程控儀所組成的溫控系統控制。
4、按權利要求1所述的裝置,其特征在于該裝置的拉晶爐可以安置一個或多個坩堝(12),以及與此相對應的,可以有一個或多個加料管(14)。
5、按照權利要求2至4所述的裝置,其特征在于該裝置的晶轉機械控制設備是在軌道(17)上完成晶體的轉移,并且根據需要做到可止可行。
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