[其他]無接觸高分辨率掃描式激光輪廓儀

無效

• 申請號: 86106872
• 申請日: 1986-10-27
• 公開（公告）號: CN86106872A
• 公開（公告）日: 1988-05-11
• 發明（設計）人: 周肇飛
• 申請（專利權）人: 成都科技大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B9/02
• 代理公司: 成都科技大學專利代理事務所
• 代理人: 肖浚澤

一種無接觸高分辨率掃描式激光輪廓儀[1]其特征在于：

1、用偏振分光器件如雙折射晶體或其它偏振分光器將激光分成偏振方向互相垂直的兩束，一束作為干涉儀的參考臂會聚于物鏡上方，經物鏡后變成直徑較大并可變換的平行光束γ₁，而另一束γ₂作為測量臂在進入物鏡前保持為平行光，經物鏡會聚成極小光點落在試件表面上，此兩束光中心同軸。上述可變換尺寸的大直徑參考臂光束由于其光斑直徑甚大，對于被測表面的細小起伏不平無反應(可忽略不計)。而測量臂由于會聚于試件表面上的光斑甚小(可達1μm)，所以能夠以1μm的橫向分辯率測量在高(深)度方向精細到1(埃)的表面輪廓形狀(極限分辯率可達0.1)。

2、光束ν₁和ν₂照射到被測表面上時是同軸的，最理想的利用了差動干涉儀原理，具有高穩定性和抗干擾性能，為信號處理采用精細相位測量法提供了信號高信噪比條件。

3、參考光束ν₁的直徑大小是可以通過變換物鏡組來改變的，一般范圍由40μm～10mm，能適應各種不同形狀的試件。