[其他]柵形電容式位移傳感器

無效

• 申請號: 86106558
• 申請日: 1986-09-09
• 公開（公告）號: CN86106558A
• 公開（公告）日: 1988-03-23
• 發明（設計）人: 王祖斌
• 申請（專利權）人: 王祖斌
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12;G01R27/26;G01B7/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、柵形電容式位移傳感器，有一個定極板和一個可相對定極板在給定方向下作間距不變的平行運動的動極板，在相互對應的定極板和動極板平面上，沿極板運動方向，平行排列同寬度、同長度和等間隔的矩形條狀電極(簡稱電極)，其特微是在定極板上所有電極兩個端頭中的一個端頭，由與電極相垂直的矩形條狀電極相連在一起，相鄰電極之間的絕緣寬度a_s是大于每個電極的寬度b_s，它們之間的關系是a_s=4b_o-b_s，式中b_o是每個電極的位移測量量程(或稱有效位移寬度)，b_s的選定是b_o≤b_s＜2b_o，在動極板上有A、C、B及D四組電極，且與位移方向相垂直的中心線兩側，左側是A組電極與C組電極交叉相鄰排列，右側是B組電極與D組電極交叉相鄰排列，每組各個電極可與定極板相同方式分別錯開在兩端相連在一起，或在極板的背面由導線相連，C組與B組鄰近電極之間的絕緣寬度a_t=3b_o-b_s，A組與C組及B組與D組鄰近電極之間的絕緣寬度同為a_u=2b_o-b_s，式中b_o和b_s同定極板的含義和規定，全部排列為…A₃、C₃、A₂、C₂、A₁、C₁、B₁、D₁、B₂、D₂、B₃、D₃…，其中腳碼號為每組電極的序號，處于工作狀態下的四種組合是A組與B組、C組與B組、C組與D組及A組與D組。

2、按權利要求1規定的電極，其特征是在定極板鄰近電極之間插入一個寬度為b_p（a_s＞b_p≥b_s）的電極作為保護環電極，在動極板上A組與C組及B組與D組分別有兩個矩形條狀周框的保護環電極，A組為測量工作狀態時，C組作保護環電極，B組為測量工作狀態時，D組作保護環電極，反之也反，上述所有保護環電極都連至E端接至適當電位（如接地），或分別連至與工作狀態電極保持等同電位。

3、按權利要求1規定的極板上，其特征加一套范圍擴大一些的大數計數，大數計數的范圍是小數的N倍，N是大于零的正數，每個大數電極的單位位移測量量程b^′_o＝Nb_o，它們的對應關系分別是a^′_s＝4b^′_o-b^′_s，a^′_t＝3b^′_o-b^′_s，a^′_u＝2b^′_o-b^′_s，b^′_o≤b^′_o＜2b^′_o和b^′_o＝Nb_o，式中“1”為大數含義。

4、按權利要求1規定的極板，其特征旋轉運動的極板是圓環形，用于測量角位移，它的中心角α_b、α_a、α_t及α_u是分別對應前述的b_s、a_s、a_t及a_u各參數，且α_a＝4α_o-α_b，α_t＝3b_o-α_b、α_a＝2α_o-α_b，這α_o是對應b_o參數。