[其他]具有最佳微型結構的X射線圖象增強管

無效

• 申請號: 86106387
• 申請日: 1986-09-17
• 公開（公告）號: CN86106387A
• 公開（公告）日: 1987-03-18
• 發明（設計）人: 馬蒂納斯·艾德里安·納斯·科尼利厄斯·利格坦伯格;奧格諾特·倫納德·赫爾曼·西蒙斯
• 申請（專利權）人: 菲利蒲光燈制造公司
• 主分類號: H01J9/22
• 分類號: H01J9/22
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 吳秉芬

本發明涉及一種制造具有一入射屏幕的X射線圖象增強管的方法，該入射屏幕包括一層發光材料和一個光陰極，它們一起裝在支座上;本發明也涉及用本發明方法制造的X射線圖象增強管。

這種方法是由美國（專利）3，821，763號而為大家所知的，其中所敘述的X射線圖象增強管具有的發光層最好由CsI組成，并在此發光層中形成一種結構。一方面，由于汽相淀積參數，如基底的溫度、汽相淀積的速度等參數適用于這個目的，故可在所述的CsI層中形成一種結構。另一方面，如同上述專利中所敘述的，可通過該層的熱處理法形成一個附加結構。具有這種結構的層稱為有裂紋的層。已經證明，備有一層具有這種結構的發光材料的X射線圖象增強管，效果是令人滿意的，但由于要求日愈提高，特別是關于管子分辨率的要求，需要為此而使所說結構最佳化。實際上，這是指在該層里要實現更多的裂紋。

本發明的目的是要滿足這些要求，為此目的，本文頭一段所述方法的特征在于，發光材料層大體上是以和垂直于支座的法線成偏轉角度0°淀積在支座上。

由于實際上發光材料是以和垂直于支座的法線成一角度來淀積，所得的極細CsI柱狀結構通過該層伸展，此柱狀物具有由幾微米至幾十微米的橫截面，或者也可以說成具有的裂紋數，對于1微米的橫截面，是10，000線/厘米，而對于50微米的橫截面，是200線/厘米。通過建立有平均橫截面的柱狀物，使層的結構適用于所需的分辨率。平均橫截面是屏幕上像素尺寸的實際粒度的量度。實際粒度是每個像素直徑有約5和20個柱狀物，以便形成的像有可接受的邊緣分辨率。柱狀之間的間隔最好在約0.25微米以上，因為較少的數值會使光的分離變壞，但又不超過2微米，因為這會減低層的阻止能力。

在某一最佳實施例中，入射角（要把它理解為淀積材料的方向與垂直于屏幕的中心線之間的夾角）約在30°之上。發光層最好用汽相淀積來得到，例如從加熱充滿發光材料的坩堝淀積。將汽相淀積坩堝和支座彼此相互旋轉，汽相淀積坩堝最好在錐形表面上相對于支座的中心作運動，以促進汽相淀積層的均勻性。在汽相淀積發光層期間，進行幾次旋轉是有好處的。

根據本發明所制得的X射線圖象增強管，其特點在于發光材料層具有柱狀結構，柱狀物的平均橫向尺寸最大約25微米，并互相被平均寬度約為0.5微米和幾微米之間的間隙所分開，與此同時，最多只有少量具有超過約50微米的橫向尺寸的柱狀物出現，而且也只有少數具有寬度比幾微米大得多的間隙出現。為了清楚起見，此后指定柱狀物之間的空間為間隙，在這情況下，應注意與根據先有技術所說的裂紋相應間隙類型意義是不明確的。該間隙常常是由大多數以細長形的系列氣泡形式形成的，幸好細長氣泡的縱向以系列的方向伸展。在諸氣泡之間，柱狀物可以彼此接觸，但這只提供比較小的光接觸，以縱方向測量，氣泡大部分顯著地占據了超過90%的系列長度，與此同時，如果不采取進一步的辦法，氣泡間的節點也不會形成良好的光接觸;這種情況是相當不利的。根據本發明的在某一角度的汽相淀積表現出對氣泡的形成有有利的影響。這樣得到的間隙或多或少代表了裂紋間的中間結構，和例如汽相淀積柱狀物之間的間隔，這些柱狀物主要是分開的晶體。

一種很適用于獲得高分辨率的屏幕結構可以用根據本發明的汽相淀積法加以實現，此法開始時基底溫度約20℃，然后用適當迭擇的淀積率和從屏幕的熱輸出，使基底達到要實現的不超過約200℃的最高溫度。

參考附圖，更全面地敘述根據本發明的幾個最佳實施例。附圖中：

圖1是根據本發明的X射線圖象增強管，

圖2是實現根據本發明方法的圖示裝置，以及

圖3是按先有技術和按本發明的發光層照相的平面圖的比較。

圖1是根據本發明的裝配在機殼里的X射線增強管，機殼有一個入射窗2，一個出射窗4和一個殼層6，圖中有一個入射屏幕8，一個出射屏幕10，一個電子光電系統12，電子光電系統12有一個第一電極14，一個第二電極16和一個端部電極18。這里的入射屏幕8是作為分開的屏幕裝在管里的，但也可以直接裝在入射窗上，入射屏幕包括一個支座或基底20，基底20由例如一厚0.5微米的鋁箔組成，其上有一發光層22，發光層最好由CsI（Na）或CsI（Ti）組成，其上根據具體情況可經由一分離層（未示出）裝有一光陰極24。入射在入射窗上的X射線圖線25在發光層被轉換成光電圖象，其結果是在光陰極里產生一光電子圖象26，它是在強烈加速光電子的同時由電子光電系統;成象在出射屏幕上的，并被轉換成可以從管外觀察的光電圖象28。