[其他]三向坐標(biāo)電容傳感測試裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 86104058
• 申請日: 1986-06-06
• 公開（公告）號: CN1005216B
• 公開（公告）日: 1989-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 呂剛
• 申請（專利權(quán)）人: 能源部南京自動化研究所
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種測量兩固定物體（M、N）之間相對位置變化的變電容式座標(biāo)傳感測試裝置，它包括：

（1）底板（8）位于相互垂直的X、Y軸平面上，將其水平地固定在第一物體（M）上，上述底板（8）上有一通孔;

（2）兩對極板（1、2）和（3、4）分別平行于上述的Y軸和X軸，并垂直地對稱安裝在上述底板（8）上;

（3）第一中間極板（5）經(jīng)上述底板（8）上的通孔安裝在Z軸件上，并與Z軸平行，上述Z軸件固定到第二物體（N）上，上述第一中間極板（5）與上述兩對極板（1、2）和（3、4）分別構(gòu)成測量兩物體（M、N）在X、Y軸向上相對位置變化的兩對差動電容;

本發(fā)明的特征在于上述裝置還包括：

（4）第二中間極板（16）固定在上述Z軸件上，并與Z軸垂直;

（5）一對與上述第二中間極板（16）平行的極板（6、7）固定在上述底板（8）上，該對極板（6、7）與上述第二中間極板（16）構(gòu)成測量兩物體（M、N）在Z軸向上相對位置變化的一對差對電容;

（6）橋式測量電路經(jīng)導(dǎo)線與上述各差動電容極板連接測出各差動電容比值求出兩物體（M、N）在X、Y、Z各軸向上相對位置變化。

2、按權(quán)利要求1所述的測試裝置，其特征在于上述各差動電容極板（1、2、3、4、5、6、7、16）的材料為金屬材料，或采用熱穩(wěn)定性好的絕緣材料表面涂復(fù)金屬膜。