[其他]拋光用液態粘接劑

無效

• 申請號: 86101702
• 申請日: 1986-03-12
• 公開（公告）號: CN86101702B
• 公開（公告）日: 1988-12-14
• 發明（設計）人: 張祖良
• 申請（專利權）人: 洛陽單晶硅廠
• 主分類號: C09J3/26
• 分類號: C09J3/26;H01L21/302
• 代理公司: 洛陽市專利事務所
• 代理人: 王炳南

本發明屬于硅片加工有蠟拋光用的一種新型的液態粘接劑。

硅片拋光工藝中需要使用一種粘接硅片的粘接劑。它將若干片硅片平整地粘在一個圓形餅狀合金拋光載體上，然后把粘有硅片的拋光載體放入拋光機中對硅片進行拋光。拋光溫度在50℃左右，壓力為12kg/cm²。要求粘在拋光載體上的硅片不得松動：拋光完后，將粘有硅片的拋光載體取出，再將硅片從拋光載體上取下。

以往硅片拋光工藝中使用的粘接劑多為固態蠟。它的缺點較多，主要缺點是整個操作過程全部手工來實現，速度慢，效率低，拋光質量不容易保證。不適應大規模生產線上使用。

近年來我國硅片拋光采用國外進口的液態蠟作為粘接劑。將液態蠟撒在拋光載體上，硅片粘好后，放入拋光機拋光，拋完后將拋光載體放入冰箱冷卻，溫度降到-5℃后，硅片很容易取下，再用三氯乙烯蒸汽很容易將硅片上的液態蠟洗凈。因此液態蠟粘接劑適合于大規模硅片拋光生產線上使用。但是進口的液態蠟價格昂貴，手續繁多，不易保證生產。

本發明提供的這種拋光用液態粘接劑，其目的在于解決硅片拋光大規模生產中硅片粘接問題，代替進口液態蠟粘接劑，節約外匯。

本發明的配制方法如下：

將三氯乙烯和松香按1（ml）∶1（g）的比例放入溶器中，將溶器密閉起來，避免三氯乙烯揮發跑掉。將溶器靜放在室溫為23°～25℃的房間里，讓松香溶化。

當松香完全溶化于三氯乙烯后，再將增塑劑鄰苯二甲酸二丁酯和鄰苯二甲酸二辛酯以等于松香的1～3%的比例，加入三氯乙烯松香溶液，一邊加一邊攪拌。

加完增塑劑后，將加有增塑劑的三氯乙烯松香溶液靜放在室溫為23°～25℃的房間里。過3～4小時后，三氯乙烯松香溶液變成半透明的棕色液體即可用作硅片拋光的粘接劑。

三氯乙烯〔C₂HCl₃〕，松香，和鄰苯二甲酸二丁酯〔C₆H₄（COOC₄H₉）₂〕鄰苯二甲酸二辛酯〔C₆H₄（COOC₈H₁₇〉）₂〕之間的比例為：100（ml）∶100（g）∶2（g）∶2（g）。

本發明提供的拋光用液態粘接劑，比重為1.23g/cm³，粘度為8.6厘沲，在15°～70℃粘接硅片牢不可動，在-5℃以下時很容易使硅片從載體上脫落，用三氯乙烯蒸汽很容易將硅片上的粘接劑洗凈。完全適合于大規模硅片拋光生產線上使用。并且原料充足，制作簡單，價格便宜。

本發明提供的拋光用液態粘接劑，不僅適用于硅片有蠟拋光生產線上用作粘接劑，而且同樣適用于與硅片拋光類似的其它有蠟拋光生產線上用作粘接劑。