[其他]氮氫保護氣體鏈式燒結爐無效
| 申請號： | 85203863 | 申請日： | 1985-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN85203863U | 公開（公告）日： | 1986-07-09 |
| 發明（設計）人： | 劉江祿;房振華 | 申請（專利權）人： | 劉江祿;房振華 |
| 主分類號： | F27B5/04 | 分類號： | F27B5/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 浙江省湖州市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 保護 氣體 鏈式 燒結爐 | ||
【權利要求書】：
1、一個半導體芯片燒結及封裝用的鏈式燒結爐，它是由傳送鏈帶「1」、燒結管「2」、加熱爐「9」、冷卻水套「11」、驅動系統「12」、排氣管「14」以及抽風機「15」等組成。其特征是在傳送鏈帶「1」上設置一系列氣體防護檔板「3」。
2、按權利要求1所述的鏈式燒結爐，其特征是所有氣體防護檔板等間距垂直地固定在鏈帶「1」上，其法線與鏈帶運動方向平行。
3、按權利要求1所述的鏈式燒結爐，其特征是所有氣體防護檔板尺寸相同，其左、右、上邊緣與矩形燒結管「2」內壁之間的縫隙寬度為0.5～2.5mm。
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