[其他]一種相干調制傳遞函數測定儀

無效

• 申請號: 85201166
• 申請日: 1985-04-01
• 公開（公告）號: CN85201166U
• 公開（公告）日: 1986-08-27
• 發明（設計）人: 王植恒;張冠申;陳澤先
• 申請（專利權）人: 四川大學
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00
• 代理公司: 四川大學專利事務所
• 代理人: 陳智倫,卿微

本實用新型屬于光學儀器的檢測儀器的改進。

光學傳遞函數是近二十年來用于評價一個光學成象系統的質量好壞的一種新的評價函數。現有的調制傳遞函數測定儀，例如莊松林著《光學傳遞函數》一書中所述的ACOFAM光具座，在測量中要用分級變頻面積形光柵經過一組顯微物鏡的縮放，構成各種不同的空間頻率，由于高質量的光柵制作極其困難，因此儀器設備精密，價格昂格，價值約數萬美元，且現有測定儀只能測量非相干照明下光學成象系統的調制傳遞函數。本實用新型解決了測量相干調制傳遞函數的問題，且儀器造價低廉，使用方便。

附圖1是相干調制傳遞函數測定儀的示意圖。

附圖2是相干調制傳遞函數測定儀的工作示意圖。

本實用新型所提供的相干調制傳遞函數測定儀的主要組成部分是：一個相干光源，在光源的后面有一針孔濾波器，它位于一個準直鏡的前焦平面上，準直鏡后相繼放置一光闌和一個透光均勻且無直接透射光的毛玻璃，毛玻璃位于一個用作二維付里葉變換的凸透鏡的前焦平面上，在凸透鏡的后焦平面上有一頻譜探測裝置。凸透鏡和頻譜探測裝置安裝在一個滑塊上，滑塊能在一導軌上作相對移動。

頻譜探測裝置可以是由一個光電探測器連接一個放大器，放大器再連接一個計算機組成。光電探測器可以是多單元光電探測器，也可以是單探測器。

如附圖1所示的相干調制傳遞函數測定儀，由相干光源1發出的相干光束經針孔濾波器2擴束后通過準直鏡3變成平行光束，再經過光闌4照明毛玻璃5。凸透鏡6的相對孔徑應大于待測光學成象系統的相對孔徑。由于凸透鏡6具有進行二維付里葉變換的性質，所以在凸透鏡6的后焦平面上得到毛玻璃5的分布均勻的空間頻譜，光電探測器7就接收到該平面上的光強度分布，放大器8將探測器7輸出的信號放大后送入計算機9對數據進行處理，得到毛玻璃5的空間頻譜的強度分布。然后將滑塊11沿導軌10向后移動，在毛玻璃5和凸透鏡6中間放入待測光學成象系統12，如附圖2所示，并使毛玻璃5正好位于待測光學成象系統12的物平面上，而凸透鏡6的前焦平面與待測光學成象系統的象平面重疊，這時通過光電探測器7、放大器8和計算機9得到的毛玻璃5的空間頻譜的強度分布中包含了待測光學成象系統12的調制傳遞函數。把兩個測定的強度分布相除，就得到待測光學成象系統的調制傳遞函數。

例如，相干光源1采用氦氖激光器，功率3至5毫瓦，針孔濾波器2的擴束鏡頭放大倍率為10倍，凸透鏡6焦距f為50，相對孔徑f／1.2，可測相對孔徑小于f／1.2的光學成象系統，多單元光電探測器采用64單元楔環形光電探測器或線陣式光電探測器陣列或面陣式光電探測器陣列。

本實用新型結構合理，造價低廉，精度高，使用方便，且測量效率高，可測定單鏡頭和組合光學成象系統的相干調制傳遞函數。