[其他]真空遠紅外充氮亞胺化裝置

無效

• 申請號: 85200146
• 申請日: 1985-04-01
• 公開（公告）號: CN85200146U
• 公開（公告）日: 1986-01-15
• 發明（設計）人: 廖萃荃
• 申請（專利權）人: 南京工學院
• 主分類號: H01L21/312
• 分類號: H01L21/312;H01L21/47
• 代理公司: 南京工學院專利事務所
• 代理人: 姚建楠

1、一種真空遠紅外線充氮亞胺化裝置由真空遠紅外爐〔17〕，程序加熱溫度補償控制儀〔18〕，半導體精密控溫儀〔16〕、機械真空泵〔19〕構成，其特征在于所述的遠紅外爐采用兩塊對置的遠紅外輻射板〔2〕和氮氣噴嘴管〔14〕。

2、根據權利要求1所述的裝置，其特征在于所述的遠紅外爐在兩塊遠紅外輻射板〔2〕中間裝有半導體精密控溫儀探頭〔1〕，並配有能迅速排除水分子的機械真空泵〔19〕。

3、根據權利要求1所述的裝置，其特征在于所述的氮氣噴嘴管〔14〕采用有均勻分布噴氣孔的直徑為8mm的不銹鋼管。

4、根據權利要求1所述裝置，其特征在于爐腔〔10〕采用不銹鋼材料制成。