[其他]無掩模被覆金屬的方法

無效

• 申請號: 85107549
• 申請日: 1985-10-14
• 公開（公告）號: CN85107549B
• 公開（公告）日: 1988-05-25
• 發明（設計）人: 萊斯特·維恩·赫羅恩;阿納達·霍薩克里·卡馬
• 申請（專利權）人: 國際商用機器公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/60;C23C14/04
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 郁玉成

1、將金屬有選擇地覆蓋在多個彼此隔開的金屬區（暴露于一個基片的表面）中一部門區上的方法，其特征在于具有如下步驟：制備由陶瓷顆粒、可解聚的聚合粘結劑劑和溶劑組成的漿料;

用漿料涂覆選定數量的上述金屬區;

將上述基片的整個表面（包括無保護層的所述金屬區）上覆蓋一層重金屬薄層;

加熱所述基片，使該金屬層與所述無保護層的金屬區慢慢混合并熔合，以及

從所述表面的非金屬區上去除漿料涂層和覆蓋的重金屬薄層。

2、如權利要求1所述的方法，其特征進一步在于：所述基片為氧化鋁陶瓷。

3、如權利要求1所述的方法，其特征進一步在于：所述金屬區有鉬構成。

4、如權利要求1所述的方法，其特征進一步在于：可解聚的聚合粘結劑為包括異丁烯酸甲酯的一組材料中的一種。

5、如權利要求1所述的方法，其特征進一步在于：重金屬薄層為金。