[其他]多用途適應性強的清潔室系統

無效

• 申請號: 85107425
• 申請日: 1985-10-09
• 公開（公告）號: CN85107425A
• 公開（公告）日: 1987-04-15
• 發明（設計）人: 橋木孝禧
• 申請（專利權）人: 高砂熱學工業株式會社
• 主分類號: F24F3/00
• 分類號: F24F3/00;A62B11/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 王憲模,王申

本發明是關于一種多用途適應性強的清潔室系統。更詳細地說，本發明涉及到一種構制清潔室的方法。憑借此種方法，易于在短時間內以低的成本，構制一廣度合乎要求且具所需凈度之清潔區的清潔室;同時涉及到按這樣的方法建造成的清潔室系統。

“清潔室”一詞意指一種特殊結構的封閉區域，能進行以下各項的環境控制，包括空氣攜帶的塵粒、溫度、濕度、空氣壓力、氣流分布、空氣運動以及照明。本發明中的“清潔室系統”一詞，則指一種在運動中結合必要的空氣處理設備與附加裝置的清潔室。

適合于制造集成電路和大規模集成電路的一種工業清潔室。通常包括一些工作區和非工作區，前者要求有很高的凈度，后者則指工作人員活動的區域以及用于安裝附屬裝置及其他邊沿空隙地帶等等，這些地方則不要求有很高的凈度。上述不同凈度的區域，可以按照要在該清潔室中進行的生產工作之具體布局，通過合理的設計和安裝一臺空氣處理設備來構成。不過就已知的清潔室系統而論，一旦將空氣處理設備安裝就位，將難以變更此設備所處位置或改動空氣的流向。換言之，當此空氣設備安裝完畢，已知的那種清潔室系統就不足以靈活地適應生產工作布局的變動、生產規模的擴大與縮小、生產內容的變化，以及清潔室的擴建與改型等等方面的要求。

此外，按傳統工藝構制的清潔室中，通常設有隔墻和支柱，用來分隔開凈度不等的工作區與非工作區;同時設有一批壁狀件，用來圈定或安裝空氣處理用的儀表或其部件，這就減小了室內的有效空間。至于其他方面，按舊工藝構制的清潔室中，至少有一部分空氣處理設備的部件，包括通風機、空氣入口部、空氣出口部、導管、通風機線圈裝置以及空氣調節器，它們通常要占據此清潔室的一部分空間，使之難于進一步擴大、縮小或變更布局。

本發明的第一個目的在于提供一種新穎的清潔室系統，它不存在與已知的那類清潔室系統相關聯的上述這些問題。

更具體地說，本發明之第一個目的在于提供構制一清潔室的方法，使此清潔室的廣度合乎要求，且具有所需的各種凈度之清潔區，凈度的范圍按照美利堅合眾國聯邦標準209b為100級至100，000級，同時易于在短時間內以低的成本構制于旣有的建筑物內。

本發明的另一個目的在于提供一種按上述要求構制的清潔室系統，它可以靈活地適合改變在此室內所進行的工作布局的各項要求，擴大或縮小工作的范圍、改變工作內容，以及增大清潔室的空間或使之改型。

根據本發明，提供了構制一清潔室的如下之一種方法，此清潔室具有按美國聯邦標準209b，范圍自100級至100，000級的不等凈度之清潔區，而在該方法中則是在旣有的建筑物內構成一天花板，通過此天花板和適當的墻壁及地板定出一封閉的空間，同時設有一空氣處理設備，給上述空間供給清潔空氣，并由此空間排出大量的空氣，排出的空氣量大體上相當于向其中輸入的清潔空氣量。

上述天花板結構中，包括一批水平懸掛的頂棚桿，用于可拆卸地支承的天花板部件，這批頂棚桿可以構成許多具有相同預定構型和尺寸之矩形孔，排成格棚形;而可拆卸地支承在這批頂棚桿上的每一天花板部件，都有一個適合蓋閉每一個上述矩形孔的底座區，此種天花板部件選自下面這個組，其中包括：暗板、回氣入口件，以及由一臺通風機與一HEPA（高效帶塵空氣）過濾器組成的通風機過濾器裝置;

上述的空氣調節器設置在此封閉空間之外，用來處理戶外空氣和部分循環空氣，同時輸出經調節過的空氣;

在所說的封閉空間之外設有供氣導管裝置，用來將空氣調節器中已調節過的空氣輸至每一臺通風機過濾器;同時設有回氣導管裝置，用來將至少是取自一個回氣入口的空氣循環至每一臺通風機過濾器，同時用來將至少是取自每一個回氣入口的空氣返回至空氣調節器;

對于以可拆卸方式支承在前述頂棚桿上的天花板部件，選擇它們的種類、數目和位置時，應符合需在該封閉空間內所形成的清潔區之凈度與位置的要求。

上述的100級凈度相當于每立方英尺空間中，粒度大于或等于0.5微米的塵粒計數不超過100個，而100，000級凈度則相當于每立方英尺空間中，粒度大于或等于0.5微米的塵粒計數不超過100，000個。

用來支承天花板部件的頂棚桿組合體最好由一批預制的矩形單元天花板框架構成，這批框架具有相同構型和尺寸，裝設在一定位置上，每一個這樣的單元至少具有一個矩形孔。

供氣導管裝置可設有一與空氣調節器空氣出口連通的主供氣導管，以及一批供氣支管，每一支管用來使主供氣導管與每一臺通風機過濾器裝置相連。