[其他]極微流量氣體取樣閥門及其制造方法無效
| 申請號： | 85107238 | 申請日： | 1985-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN85107238A | 公開（公告）日： | 1987-05-27 |
| 發明（設計）人： | 王欲知;劉建生 | 申請（專利權）人： | 成都電訊工程學院 |
| 主分類號： | G01N1/22 | 分類號： | G01N1/22;F16K7/12;C03C15/00;C03C19/00 |
| 代理公司： | 成都電訊工程學院專利代理室 | 代理人： | 李曉洪,武登祥 |
| 地址： | 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 極微 流量 氣體 取樣 閥門 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1、本發明是一種極微流量的氣體取樣閥門，該閥門由密封閥殼(15)，導氣管(9)、(10)，微漏導氣片(1)，支承片(2)取樣開關(4)(5)，密閉閥蓋(6)等構成，其特征在于：
①微漏導氣片是一帶有特殊方法制作的孔徑在1微米到20微米范圍的微細小孔的平面玻璃片。
②開閉該微漏孔的取樣開關是一碗狀彈性隔膜，其頂端粘有一平面彈性密封墊片，并由頂緊機構帶動隔膜對微漏孔開閉取樣。
2、微漏導氣片的制作方法，其特征在于：
①用高速鉆頭在玻璃片上鉆出一尚未穿透的凹坑;
②用化學腐蝕的辦法，將凹坑進一步變薄;
③用電擊穿的方法將凹坑擊穿。
3、微漏導氣片的用途，其特征在于微漏片和導氣管封合而成一標準的孔。
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