[其他]靜電動作的雙態(tài)器件陣列及制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 85106866
• 申請日: 1985-09-12
• 公開（公告）號: CN85106866A
• 公開（公告）日: 1987-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 喬治·R·辛普森;赫伯特·W·沙利文
• 申請（專利權(quán)）人: 喬治·R·辛普森;赫伯特·W·沙利文
• 主分類號: G02F1/00
• 分類號: G02F1/00;G02F1/19
• 代理公司: 中國專利代理有限公司
• 代理人: 李先春

1、一種靜電動作的雙態(tài)元件，它包括：

一個具有若干個電極區(qū)的固定子部件，以及

一個可被靜電吸動的蓋片部件，它有一端固定在固定子部件上，且具有若干個電極區(qū)，

這個蓋片部件有一離開這固定子傾向的永久機(jī)械偏置，當(dāng)有電位施加于一個固定子電極區(qū)及一個與所說固定子電極區(qū)鄰近的蓋片電極區(qū)之間時，這個偏置抵不住作用在蓋片上的靜電力。

2、權(quán)項1的元件，其中無論是蓋片部件或固定子部件，它們的電極區(qū)之中每個電極區(qū)與其相鄰的電極區(qū)之間用一個間隙來分開，這個間隙的走向?qū)ιw片運(yùn)動方向來說是傾斜的。

3、權(quán)項2的元件，其中所說的間隙是V字形的。

4、一種靜電動作的雙態(tài)元件，它包括：

一個具有若干個電極區(qū)的固定子部件，以及

一個可被靜電吸動的蓋片部件，它有一端固定在固定子部件上，且具有若干個電極區(qū)，

這個蓋片部件有一離開這固定子傾向的永久機(jī)械偏置，當(dāng)有電位施加于一個固定子電極區(qū)及一個與所說固定子電極區(qū)鄰近的蓋片電極區(qū)之間時，這個偏置抵不住作用在蓋片上的靜電力，從而使這蓋片部件蓋在固定子部件上。

5、權(quán)項4的元件，其中當(dāng)蓋片部件已經(jīng)動作并蓋在固定子部件上時，至少有一個蓋片上的間隙是對準(zhǔn)了固定子部件上的間隙。

6、一種靜電動作的雙態(tài)元件，它包括：

一個具有若干個電極區(qū)的固定子部件，這些電極區(qū)彼此都用V字形間隙分開，

一個可被靜電吸動的蓋片部件，它有一端固定在固定子部件上，且具有若干個彼此都由V字形間隙分開的電極區(qū)，

當(dāng)這蓋片部件動作時，蓋片部件上至少有一間隙是對準(zhǔn)了固定子部件上的一個間隙，

這個蓋片部件有一離開這固定子部件傾向的永久機(jī)械偏置，當(dāng)有電位施加于一個固定子電極區(qū)及一個與所說固定子電極區(qū)鄰近的蓋片電極區(qū)之間時，這個偏置抵不住作用在蓋片上的靜電力，從而使這蓋片吸至并蓋在固定子部件上。

7、權(quán)項6的元件，其中的固定子部件至少有三個電極區(qū)。

8、權(quán)項6的元件，其中的蓋片部件至少有三個電極區(qū)。

9、一種靜電動作的雙態(tài)元件，它包括：

一個蓋片部件，它有三條邊能自由活動且有若干個電極區(qū)，以及

一個與這蓋片相隨的固定子部件，這個固定子具有若干個固定子電極區(qū)，

這個蓋片有一離開固定子部件傾向的永久機(jī)械偏置。

10、一種靜電動作雙態(tài)元件的行和列的陣列，每一元件包括：

一個有三條邊能自由活動的蓋片部件，它有一使它卷曲的永久機(jī)械偏置，且至少具有第一、第二及第三蓋片電極區(qū)，以及

一個和這蓋片對齊的固定子部件，蓋片卷曲時蓋片就離開這固定子部件，這個固定子至少具有第一、第二及第三固定子電極區(qū)，

蓋片部件是在一個第一底板上形成，固定子部件是在第二底板上形成，第一底板和第二底板對齊后重合在一起。

11、權(quán)項10的陣列，其中第二固定子電極和第二蓋片電極區(qū)均與它們的相鄰電極區(qū)用V字形間隙分開。

12、制造雙態(tài)元件行列陣列的一種方法，每一元件包括一個可被靜電吸動的且其上有若干個電極區(qū)的蓋片部件和一個具有若干個電極區(qū)的固定子，制造方法包括以下步驟：

a、在一塊底板上形成由許多彼此以雙態(tài)元件的寬度分隔的直立壁所組成的平行槽，

b、在兩面都有導(dǎo)電鍍層的沒有應(yīng)力的第一聚合薄膜的一個面上，迭合一層第二聚合薄膜，所說的第二薄膜受有單軸方向的張力，

c、把迭層第二薄膜的暴露面粘合到槽壁的頂上，

d、或者在步驟（b）之前，或者在步驟（c）之后，在每個元件的所在處，在第一薄膜暴露面的導(dǎo)電鍍層上對該蓋片形成各個電極區(qū)，

e、沿著每個蓋片的三條邊緣切割這迭層，使蓋片能自由活動，

f、在迭層的暴露面上迭一層不導(dǎo)電的材料，以及

g、在步驟（f）之前或后，在每個元件的所在處，在不導(dǎo)電材料層上對該固定子形成各個電極區(qū)。