[其他]能進行輻射聚合的混合物以及制備共聚物的方法

無效

• 申請號: 85106270
• 申請日: 1985-08-20
• 公開（公告）號: CN85106270A
• 公開（公告）日: 1987-02-18
• 發明（設計）人: 尤爾里克·格斯勒;克勞斯·艾爾伯里特
• 申請（專利權）人: 赫徹斯特股份公司;勒姆有限公司化學工廠
• 主分類號: C08F220/06
• 分類號: C08F220/06;C08F2/00;C08F2/38;//;22018;21208)
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 李雒英

本發明是關于一種混合物，其主要組成包含：

a）一種能進行自由基聚合的化合物，它具有至少二個帶烯鍵的不飽和端基，在大氣壓下它的沸點高于100℃，

b）一種在光化性射線的作用下能引發化合物a）聚合的化合物，

c）一種在水中不溶，但是在堿性水溶液中能溶解的共聚物。

上面所述的這類能進行聚合的混合物是已知的，尤其是用于制備光聚合印刷板以及光致抗蝕劑材料。這類混合物的優先應用領域是制備干法光致抗蝕劑材料。

聯邦德國專利申請展出說明書（DE-A）20????64????080描述了這類混合物，它們含有甲基丙烯酸和甲基丙烯酸烷基酯的共聚物作為粘合劑，在甲基丙烯酸烷基酯中的烷基至少有4個碳原子;用甲基丙烯酸，甲基丙烯酸甲酯或乙酯，以及一種烷基中有4至15個碳原子的甲基丙烯酸烷基酯制成的三元共聚物作粘合劑則更好。這些混合物形成柔性層，它們雖然粘附良好，但是當它們較厚時，例如厚度超過20微米時，就有冷流的傾向，以涂好的成卷的干性抗蝕劑膜的形式長期保存時會出現露邊和發粘。

專利DE-A23????63????806描述了類似的混合物，它們含有甲基丙烯酸、一種烷基含有4個以上碳原子的甲基丙烯酸烷基酯和另一種單體的三元共聚物，與此第三種單體相對應的均聚物的玻璃化轉變溫度至少為80℃。這類單體的具體例子有苯乙烯，取代苯乙烯和丙烯腈。這類混合物的冷流顯著降低了，但是對于某些應用，例如遮蓋基材中的孔洞，即所謂遮掩技術，它們完全不合用，或者用途非常有限。遮掩技術在印刷電路板的生產過程中越來越被采用。在包銅法的加工過程中，打好孔并刷過的板，在打孔部分進行化學金屬化，然后在電解鍍銅浴中將整個表面增強到所要求的最終厚度。再在板上覆蓋一層光致抗蝕劑層，接著進行曝光。在這一過程中抗蝕劑層在線路和焊眼部分發生固化。孔洞的兩側都被固化了的抗蝕劑層覆蓋著，這些區域在顯影時保留了下來。銅層裸露的部分被腐蝕去。

遮掩技術對于遮蓋所謂操作孔和固定孔也是重要的，這些孔的直徑大到6毫米或更大，板中備有這些孔以便在各個處理步驟進行操作。在半添加法（Semiadditive）中，金屬被電解沉積在沒有被抗蝕劑層覆蓋的區域中。在這一過程中固定孔也必須被覆蓋住，否則它們會因金屬的沉積而變小、因而可能在下面的步驟中不能使用。然后將抗蝕劑層除去，用腐蝕劑將下面的導電銅層腐蝕除去，在操作孔和固定孔中的銅也被除去。

因此光致抗蝕劑必須滿足遮掩技術的高要求。在曝光狀態下它必須是柔軟的，并能抵抗腐蝕浴和鍍膜浴的作用，而且在遮蓋6毫米或更大的孔洞時，它必須能支撐自己。

DE-A24????17????656描述了其它類似的混合物，它們包含兩種酸性聚合物結合在一起作為粘合劑，在某些條件下其中之一溶于稀的氫氧化鈉水溶液中，而另一種不溶。那里所描述的甲基丙烯酸共聚物在氫氧化鈉水溶液中是不溶解的。

本發明的目的是提出一種能進行輻射聚合的混合物，它適合于制備干法光致抗蝕劑材料，在堿性水溶液中容易完全顯影，形成柔性很高而無冷流的膜，用于覆蓋打過孔的鍍銅絕緣板時適合于遮蓋直徑大于1毫米的鉆孔，曝光之后成為自承膜、能耐進一步的處理如噴霧顯影、蝕刻、電鍍等而不受損傷。

本發明是關于一種能進行輻射聚合的混合物，其主要組成包含：

a）一種能進行自由基聚合的化合物，它至少具有二個帶烯鍵的不飽和和端基，在大氣壓下沸點高于100℃。

b）一種在光化性輻照的作用下能引發化合物a）聚合的化合物，

c）一種在水中不溶但是在堿性水溶液中能溶解的共聚物，它由下列成份組成：

c1）一種α、β-不飽和脂肪酸，

c2）一種甲基丙烯酸烷基酯，其烷基部分至少有4個碳原子，

c3）如果適當的話再包含一種乙烯類單體不飽和化合物，它能與c1）和c2）共聚，它的均聚物的玻璃化轉變溫度至少為80℃。

按照本發明，混合物中的共聚物的平均分子量為50，000至200，000。

按照本發明，進一步推薦一種共聚物，它由一種α、β-不飽和脂肪酸，一種烷基至少有4個碳原子的甲基丙烯酸烷基酯，如果合適的話，和至少一種能與不飽和脂肪酸及甲基丙烯酸酯共聚的乙烯類單體共聚而得，這種乙烯類單體的均聚物的玻璃化轉變溫度至少為80℃。

按照本發明，共聚物的平均分子量大約在50，000至200，000范圍內。

用共聚物的分子量為65，000至150，000的混合物得到柔性好而且堅韌的層狀物，它在堿性水溶液中也能被適當地顯影。