[其他]濕敏元件及其制造法

無效

• 申請號: 85104273
• 申請日: 1985-06-05
• 公開（公告）號: CN85104273A
• 公開（公告）日: 1986-12-03
• 發明（設計）人: 岡正太郎;田原修;小林潤也
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: H01L41/08
• 分類號: H01L41/08;G01N27/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部
• 代理人: 杜日新

1、濕敏元件，其特征為，在濕敏元件用的固體基材上一對電極間或至少一個電極上形成感濕膜的濕敏元件中，

上述感濕膜的基本結構為，由疏水性有機化合物的等離子體聚合高分子層形成內部層和由有機胺化合物的等離子體聚合在其上形成含有氨基的高分子層組成表面層，并且在上述表面層含有氨基的高分子層中，引入銨鹽型親水基取代氨基。

2、在權項1所述的濕敏元件中，其銨鹽型親水基的引入量沿厚度方向有梯度分布，成為在表面層的表面側量大，在內部層側減少。

3、在權項1所述的濕敏元件中，其濕敏元件用固體基材為壓電體。

4、濕敏元件的制造法，其特征為，在濕敏元件用固體基材上蒸鍍形成一對電極，將它置于疏水性有機化合物的蒸氣中，進行等離子體聚合，在其電極間或至少一個電極上形成高分子膜，然后在有機胺化合物的蒸氣下，進行等離子體聚合，在上述高分子膜上形成含有氨基的高分子膜后，再保持在鹵化烷基蒸氣中，將上述含有氨基的高分子膜中的氨基變換成銨鹽型親水基。

5、根據權項4所述的制造法，其有機胺化合物可以從二烯丙基胺、二乙基烯丙胺、N，N，N′，N′-四甲基乙二胺、苯胺、吡啶、苯乙胺、三乙胺、乙二胺、二亞乙基三胺和三亞乙基四胺中選擇。

6、根據權項4所述的制造法，其鹵化烷基可以從氯化甲基、氯化乙基、碘化甲基和溴化甲基中選擇。

7、根據權項4所述的制造法，其疏水性有機化合物為乙烯基芳香族化合物。

8、根據權項4所述的制造法，其疏水性有機化合物及有機胺化合物的等離子體聚合是在高真空下，0.1～100KH_Z的輝光放電條件下進行的。

9、根據權項4所述的制造法，其濕敏元件用的固體基材為壓電體。