[其他]普氮制取超純氮凈化裝置及工藝流程

無效

• 申請號: 85102704
• 申請日: 1985-04-01
• 公開（公告）號: CN85102704A
• 公開（公告）日: 1986-09-24
• 發明（設計）人: 程德鑫;張俊香;唐學淵;陳怡萱;劉惠菁;邱長春;戴志豪;韓同生;朱風順;王瑞升
• 申請（專利權）人: 中國科學院大連化學物理研究所
• 主分類號: C01B21/04
• 分類號: C01B21/04
• 代理公司: 中國科學院大連化學物理研究所專利代理處
• 代理人: 汪惠民

1、運用加H₂法由普N₂制取超純N₂的凈化裝置包括：脫O₂反應柱、深度凈化管、一對吸附柱；本發明的特征在于：脫O₂反應柱與吸附柱間加入可同時進行脫H₂、脫O₂的反應柱(RO/R)和脫H₂反應柱(RO)并設計了能連續取樣分析N₂流中氣體組分的H₂/O₂檢測計(HOM)和調節加H₂量的精密計量伐(FMV)。

2、按照權項1所述反應柱（Ro/R）與反應柱（Ro），是由Ro/R反應柱體1，Ro反應柱體4，Ro/R與Ro接體5以及反應柱在線接口3等組成。

反應柱柱徑與柱高之最佳比：Ro/R柱為1/10，Ro柱為1/5。

3、按照權項1所述H₂/O₂檢測計（HOM），是一種在線測試、聲光報警、控制儀。H₂/O₂檢測計（HOM）有二處取樣口，其一設在脫O₂反應柱出口，其二設在Ro/R反應柱出口。H₂/O₂檢測計可配以微機聯機使用。

4、按照權項1所述調節加H₂量的精密計量伐（FMV），是一種連續可調，工作穩定、重復性好、氣密可靠的伐件。

5、利用權項1所述普N₂制取超純N₂凈化裝置進行凈化的工藝流程，按下法：

（1）原料普N₂（＞98%）與普H₂（＞98%）混合，常溫下在脫O₂反應柱內進行H₂/O₂催化反應而去O₂;

（2）除O₂后的N₂流氣進入Ro/R反應柱發生氧化-還原反應以脫除H₂或O₂。在Ro反應柱內可進一步脫H₂以確保H₂指標。Ro/R～Ro反應柱的柱溫為100℃～180℃。

（3）經空氣冷卻器后的N₂流氣送入吸附柱以除去水份和其他雜質;

（4）被凈化的N₂流氣在深度凈化管內再行深度脫O₂及去除其他雜質;

（5）最后通過高效過濾器以行獲得超純產品N₂/Ar（＞99.9999%）。

（6）按照權項5所述凈化工藝、加H₂量的控制是由H₂/O₂檢測計（HOM）提供信息（一次信息SI₁和二次信息SI₂）、人工調節加H₂精密計量伐（FMV）進行的。如配以微機則全自動化。