[其他]復(fù)合腔波導(dǎo)互補(bǔ)激光器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 85102608
• 申請(qǐng)日: 1985-04-01
• 公開（公告）號(hào): CN1004248B
• 公開（公告）日: 1989-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜國(guó)同
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉林大學(xué);電子工業(yè)部第四十四研究所
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種由在半導(dǎo)體材料襯底上外延生長(zhǎng)的多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)成的半導(dǎo)體激光器，其中有一層或多層形成有源區(qū)，再加上兩端面形成反射鏡構(gòu)成諧振腔，激射條件下，在有源區(qū)內(nèi)載流子復(fù)合產(chǎn)生輻射發(fā)射，有源區(qū)是折射率導(dǎo)引區(qū)段和增益導(dǎo)引區(qū)組成的復(fù)合腔結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的特征是折射率導(dǎo)引區(qū)段中有一段是壓縮形雙異質(zhì)結(jié)構(gòu)，增益導(dǎo)引區(qū)段中有一段是氧化物隔離條形段。

2、一種按照權(quán)利要求1所述的（復(fù)合腔波導(dǎo)互補(bǔ)）激光器，其特征在于用壓縮形雙異質(zhì)結(jié)構(gòu)和氧化物條形兩種結(jié)構(gòu)組成復(fù)合腔，是兩段式或多段式結(jié)構(gòu)。

3、一種按照權(quán)利要求2所述的激光器，其特征在于對(duì)兩溝間距為30～40μm的壓縮形結(jié)構(gòu)，最佳腔長(zhǎng)比例為壓縮形段占整個(gè)腔長(zhǎng)的1/3～1/4。

4、一種按照權(quán)利要求2所述激光器的制造方法是，把原來在襯底上光刻腐蝕成通長(zhǎng)雙溝槽改為光刻腐蝕成分段溝槽，采用壓縮形結(jié)構(gòu)外延工藝一次外延完成生長(zhǎng)。

5、一種按照權(quán)利要求4所述的激光器，其特征在于最佳外延厚度和摻雜條件為，第一層AlxG_al-xAs層厚2μm左右，摻Sn（lgGa熔體摻Sn20～25mg）濃度為1～2×10¹⁷cm^-3，第二層有源區(qū)不摻雜，第三層AlxG_al-xAs層厚1～1.5μm，摻G_e（lgGa熔體摻Ge3.5～5mg）濃度為1～2×17¹⁷cm^-3，第四層GaAs層厚度為0.2～0.5μm，摻Ge（lgGa熔體摻Ge0.1～0.3mg）雜質(zhì)濃度為1～2×10¹⁷cm^-3。

6、一種按照權(quán)利要求5所述的激光器，其特征在于有源區(qū)生長(zhǎng)為AlyG_al-yAs材料，y值可在0.05～0.3之間變化，上下限制層的Al含量x值也適當(dāng)提高調(diào)到0.4～0.7。

7、一種按照權(quán)利要求5、6所述的激光器，其特征在于在下限制層和有源區(qū)之間生長(zhǎng)一層AlzG_al-zAs波導(dǎo)層，波導(dǎo)層為n型，Al含量z值比有源層Al量y值高出0.1～0.2。

8、一種按照權(quán)利要求1所述的（復(fù)合腔波導(dǎo)互補(bǔ)）激光器，其特征在于由壓縮形、氧化物條形、梯形襯底三種結(jié)構(gòu)結(jié)合構(gòu)成復(fù)合腔，是三段式或三段以上的多段式。

9、一種按照權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于可以按照公式

和具體工藝條件估算出折射率導(dǎo)引段和增益導(dǎo)引段腔長(zhǎng)的最佳比例，以保持良好的光功率曲線線性同時(shí)又具有最大的單模輸出功率。

10、一種按照權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于用InP材料制造成1.1～1.6μm波長(zhǎng)的激光器及用其它材料制造的0.5～0.74μm和1.6～3μm波長(zhǎng)的激光器。