[其他]一種微小光程差測(cè)量系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 85102287
• 申請(qǐng)日: 1985-04-01
• 公開（公告）號(hào): CN85102287B
• 公開（公告）日: 1987-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐炳德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G01J9/04
• 分類號(hào): G01J9/04
• 代理公司: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春專利事務(wù)所
• 代理人: 劉樹清

1、一種微小光程差測(cè)量系統(tǒng)，是由雙頻激光源，共程光路，非共程光路，光混頻器和信號(hào)處理系統(tǒng)組成。其特征在于：光源選用光頻穩(wěn)定度在1×10^-8～5×10^-11之間，頻差值在30KHz～150KHz之間，差頻穩(wěn)定度在1×10^-4～1×10^-6之間的雙穩(wěn)頻雙頻激光源，非共程光路采用雙臂可調(diào)程平行光路結(jié)構(gòu)，并在此光路中置入電光移相器和光程補(bǔ)償器。

2、按權(quán)利要求1所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于：非共程光路由偏振分束器〔11〕，二平面反射鏡組〔13〕、〔14〕和〔17〕、〔18〕以及合束器〔15〕組成，二不同頻率光經(jīng)偏振分束器〔11〕分離為成90°角的兩個(gè)支臂光路，每一支臂光路中的平面反射鏡組〔13〕、〔14〕或〔17〕、〔18〕的二反射面互相垂直，而且對(duì)二不同頻率光均為45°入射，合束器〔15〕位于二不同頻率光重新會(huì)合處，而且其分光面對(duì)二不同頻率光也均呈45°入射。

3、按權(quán)利要求2所述的非共程光路，其特征在于：反射鏡〔13〕、〔14〕可以一起沿反射鏡〔14〕反射光方向前后平移，反射鏡〔18〕和合束器〔15〕也可以沿上述方向一起平移。

4、按權(quán)利要求1、2或3所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于：在非共程光路中的任一支臂光路中插入電光移相器〔16〕，而在另一支臂光路中插入與電光移相器等光程的光程補(bǔ)償器〔12〕。

5、按權(quán)利要求1所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于：雙頻激光源選用光頻穩(wěn)定度為1×10^-10，頻差值為60KHz，差頻穩(wěn)定度為1×10^-5的橫向塞曼效應(yīng)穩(wěn)頻的He-Ne雙頻激光器。

6、按權(quán)利要求1所述的測(cè)量系統(tǒng)的用途，其特征在于：可測(cè)量1～一個(gè)光波長(zhǎng)范圍內(nèi)的微小位移量，微小變形量、相應(yīng)的微小角度變化量，以及它們的變化過程或者測(cè)量1～一個(gè)光波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透明體的微小折射率變化和微小變形引起的光程變化，及其隨時(shí)間變化或空間分布。