[其他]微型箔式電阻應(yīng)變計的制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 85100133 | 申請日： | 1985-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN85100133B | 公開（公告）日： | 1988-03-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馮仁賢;揚風(fēng)河;陸符聰 | 申請（專利權(quán)）人： | 清華大學(xué) |
| 主分類號： | H05K3/06 | 分類號： | H05K3/06;G01B7/20;H01C17/00 |
| 代理公司： | 清華大學(xué)專利事務(wù)所 | 代理人： | 張秀珍 |
| 地址： | 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微型 電阻 應(yīng)變 制造 方法 | ||
1、一種微型箔式電阻應(yīng)變計的制造方法，其中，用離心法制光刻膠膜，用三氯化鐵腐蝕液腐蝕康銅箔，其特征在于，光刻應(yīng)度計敏感柵用的光刻膠是采用鄰疊苯氮醌型光刻膠-212＃正性光刻膠，曝光光源為球型汞燈，采用0.8～12%氫氧化鉀溶液作顯影液，用離心法制基底膜，所說的三氯化鐵腐蝕液的濃度為55～60℃（波美），溫度為40℃～50℃，腐蝕時間為8～12分鐘。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所說的一種微型箔式電阻應(yīng)變計的制造方法，其特征在于所說的光刻膠膜的制膜過程為，將光刻膠液滴在箔材上，置于轉(zhuǎn)速為800～1000轉(zhuǎn)/分的離心機上旋轉(zhuǎn)1-3分鐘后，取下送入升溫至80℃～90℃的烘箱內(nèi)，烘烤后，箔材冷至室溫即成。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所說的一種微型箔式電阻應(yīng)變計的制造方法，其特征在于所說的顯影過程是，將曝光后的箔材置于0.8～12%氫氧化鉀顯影液內(nèi)，其溫度控制在22℃-25℃，均勻晃動后，置于離心機上甩干，取下后在室溫下自然干燥。
4、根據(jù)權(quán)利要求1所說的一種微型箔式電阻應(yīng)變計的制造方法，其特征在于所說的用離心法制基底膜的過程為，將箔材放在玻璃板上，取3～5ml的聚乙烯醇縮醛基底膠滴在箔材上，置轉(zhuǎn)速750～800轉(zhuǎn)/分的離心機上旋轉(zhuǎn)3～5秒鐘，自然干燥之后，送入烘箱內(nèi)進(jìn)行固化處理而制成。
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