[實(shí)用新型]X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及三坐標(biāo)測量機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202320872355.4
• 申請(qǐng)日: 2023-04-18
• 公開（公告）號(hào): CN219368698U
• 公開（公告）日: 2023-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉宏;何平;郝建偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 徠司超精材料科技（蘇州）有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/00
• 分類號(hào): G01B21/00;G01B21/04
• 代理公司: 無錫大鯤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32671
• 代理人: 張濤

1.一種X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括底座，設(shè)置在底座上的導(dǎo)軌及平臺(tái)支座，其特征在于，所述的底座，包括端面及基面；

所述的導(dǎo)軌，設(shè)置在底座上，包括底面及自底面垂直延伸的左支承面、右支承面、連接左支承面與右支承面的上支承面，所述的底面包括與基面貼合的托置面及伸出到端面外側(cè)的伸出面；

所述的平臺(tái)支座包括與左支承面、右支承面、上支承面及伸出面對(duì)應(yīng)的支板，每一支板設(shè)置有至少一個(gè)氣浮軸承。

2.如權(quán)利要求1所述的X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，若伸出面的寬度為n，托置面的寬度為m，則有，n：m＝1:2-2:3。

3.如權(quán)利要求2所述的X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述的氣浮軸承包括與左支承面對(duì)應(yīng)的第一氣浮軸承，與上軸承面對(duì)應(yīng)的第二氣浮軸承，與右支承面對(duì)應(yīng)的第三氣浮軸承及與伸出面對(duì)應(yīng)的第四氣浮軸承，各氣浮軸承包括圓形的氣浮端面，若第二氣浮軸承的氣浮端面的直徑為D，第四氣浮軸承的氣浮端面的直徑為d，則有2.5d≥D≥1.8d。

4.如權(quán)利要求2所述的X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述的導(dǎo)軌的重心在基面上的投影位于基面的范圍內(nèi)。

5.如權(quán)利要求4所述的X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，第二氣浮軸承的軸線位于重心的內(nèi)側(cè)。

6.如權(quán)利要求5所述的X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，第二氣浮軸承與重心之間的間距為a，則a≥10mm。

7.如權(quán)利要求3所述的X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，第一氣浮軸承、第二氣浮軸承、第三氣浮軸承的軸線共面。

8.如權(quán)利要求7所述的X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，沿平臺(tái)支座的長度方向，對(duì)稱的設(shè)置有一對(duì)第一氣浮軸承、一對(duì)第二氣浮軸承、一對(duì)第三氣浮軸承及一對(duì)第四氣浮軸承，一對(duì)第四氣浮軸承位于一對(duì)第一氣浮軸承之間。

9.如權(quán)利要求1所述的X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述的底座為大理石或花崗石，所述的導(dǎo)軌也為大理石或花崗石，且導(dǎo)軌與底座材質(zhì)相同，導(dǎo)軌粘附在底座上。

10.一種三坐標(biāo)測量機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9中任一權(quán)利要求所述的X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。