[實(shí)用新型]燒結(jié)裝置及半導(dǎo)體激光器制造系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320831474.5
• 申請日: 2023-04-13
• 公開（公告）號: CN219576193U
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅拓;張艷春
• 申請（專利權(quán)）人: 度亙光電科技（南通）有限公司
• 主分類號: H01S5/022
• 分類號: H01S5/022;F27D9/00;F25D17/02
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 榮穎佳

本實(shí)用新型提供一種燒結(jié)裝置及半導(dǎo)體激光器制造系統(tǒng)，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，燒結(jié)裝置包括燒結(jié)組件和冷卻組件；燒結(jié)組件用于燒結(jié)工件和殼體；冷卻組件包括冷卻件和供液機(jī)構(gòu)；冷卻件內(nèi)具有冷卻腔體，冷卻腔體包括冷卻腔體進(jìn)口和冷卻腔體出口，冷卻腔體進(jìn)口和冷卻腔體出口分別與冷卻件貫穿設(shè)置；供液機(jī)構(gòu)的出口與冷卻腔體進(jìn)口連接，供液機(jī)構(gòu)的進(jìn)口與冷卻腔體的出口連接，供液機(jī)構(gòu)用于提供冷卻液體。可以在較短的時(shí)間內(nèi)，將夾具和殼體的溫度降低至20℃作用，隨后操作人員再拆除夾具，能夠防止操作人員燙傷。并且，由于夾具和殼體能夠在較短的時(shí)間內(nèi)降溫至20℃作用，操作人員等待夾具和殼體降溫的時(shí)間較短，生產(chǎn)效率較高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種燒結(jié)裝置及半導(dǎo)體激光器制造系統(tǒng)。

背景技術(shù)

燒結(jié)步驟是半導(dǎo)體激光器制造步驟中的重要步驟。半導(dǎo)體激光器的核心部件是泵浦源，泵浦源由殼體和芯片封裝組成。

目前，在燒結(jié)步驟中，半導(dǎo)體激光器的殼體外側(cè)設(shè)置夾具，焊料和COS擺放在殼體中，上述零件放置在燒結(jié)設(shè)備中進(jìn)行燒結(jié)。在燒結(jié)完成后，需要人工將夾具由燒結(jié)設(shè)備中取出，再將殼體與夾具拆分開。

然而，燒結(jié)后的夾具和殼體的溫度較高，拆分殼體與夾具的過程中，容易燙傷操作人員。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種燒結(jié)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的拆分殼體與夾具的過程中，容易燙傷操作人員的技術(shù)問題。

本實(shí)用新型提供的燒結(jié)裝置，包括燒結(jié)組件和冷卻組件；

所述燒結(jié)組件用于燒結(jié)工件和殼體；

所述冷卻組件包括冷卻件和供液機(jī)構(gòu)；所述冷卻件內(nèi)具有冷卻腔體，所述冷卻腔體包括冷卻腔體進(jìn)口和冷卻腔體出口，所述冷卻腔體進(jìn)口和所述冷卻腔體出口分別與所述冷卻件貫穿設(shè)置；

所述供液機(jī)構(gòu)的出口與所述冷卻腔體進(jìn)口連接，所述供液機(jī)構(gòu)的進(jìn)口與所述冷卻腔體的出口連接，所述供液機(jī)構(gòu)用于提供冷卻液體。

進(jìn)一步地，所述冷卻件為板狀。

進(jìn)一步地，所述冷卻件內(nèi)部設(shè)有管體，所述管體內(nèi)部形成冷卻腔體，所述管體的一端形成冷卻腔體進(jìn)口，所述管體的另一端形成冷卻腔體出口。

進(jìn)一步地，所述供液機(jī)構(gòu)的出口與所述冷卻腔體進(jìn)口可拆卸地連接，所述供液機(jī)構(gòu)的進(jìn)口與所述冷卻腔體的出口可拆卸地連接。

進(jìn)一步地，所述供液機(jī)構(gòu)包括冷水機(jī)。

進(jìn)一步地，所述冷水機(jī)包括水箱、水泵和風(fēng)扇；所述水箱與所述水泵連接，所述風(fēng)扇設(shè)置在所述水箱的一側(cè)。

進(jìn)一步地，所述冷卻件設(shè)置在所述燒結(jié)組件的一側(cè)，所述供液機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述冷卻件的下方。

進(jìn)一步地，所述燒結(jié)組件包括腔體、蓋體和加熱機(jī)構(gòu)；

所述蓋體與所述腔體活動(dòng)連接，所述蓋體能夠敞開或封閉所述腔體；所述加熱機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述腔體的底面上。

進(jìn)一步地，所述加熱機(jī)構(gòu)包括加熱棒、加熱板和溫度控制單元；

所述加熱棒設(shè)置在所述腔體的底面上，所述加熱板設(shè)置在所述加熱棒上方；所述溫度控制單元與所述加熱棒連接，所述溫度控制單元用于控制所述加熱棒的溫度。

本實(shí)用新型的目的還在于提供一種半導(dǎo)體激光器制造系統(tǒng)，包括本實(shí)用新型提供的燒結(jié)裝置。