[實(shí)用新型]一種光罩盒存儲柜

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320580005.0
• 申請日: 2023-03-23
• 公開（公告）號: CN219566190U
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈皓光;袁正一;張汝京
• 申請（專利權(quán)）人: 昇瑞光電科技（上海）有限公司
• 主分類號: B65D81/20
• 分類號: B65D81/20;B65D6/06;B65D25/02
• 代理公司: 北京博識智信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 16067
• 代理人: 魏文密

本實(shí)用新型公開了一種光罩盒存儲柜，包括光罩盒存儲柜以及設(shè)置于光罩盒存儲柜底部的機(jī)械電子區(qū)，機(jī)械電子區(qū)底部設(shè)置高架底板、蜂窩底板，機(jī)械電子區(qū)內(nèi)設(shè)置保護(hù)氣體進(jìn)入管路、廢氣排出管路，保護(hù)氣體進(jìn)入管路與光罩盒存儲柜底部連通，廢氣排出管路與光罩盒存儲柜底部連通，并向下穿過高架地板、蜂窩底板，機(jī)械電子區(qū)還設(shè)置HEPA過濾器及進(jìn)風(fēng)扇，外部空氣由HEPA過濾器及進(jìn)風(fēng)扇進(jìn)入高架底板、蜂窩地板；本實(shí)用新型設(shè)置帶有保護(hù)氣體的光罩盒存儲柜，保護(hù)氣體從柜結(jié)構(gòu)頂部或從每層光罩盒存儲區(qū)域的上方進(jìn)入，來置換污染空氣并強(qiáng)制使其向廢氣排放口或存儲區(qū)底部流動，同時，機(jī)械電子區(qū)位于機(jī)器底部來最小化潛在污染光罩存儲盒的顆粒粒子數(shù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光罩盒存儲領(lǐng)域，具體是指一種光罩盒存儲柜。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造工業(yè)中，加工流程中最關(guān)鍵的其中一部分是光罩或光刻掩膜，它被用于在硅晶圓上生成圖案，這些光罩即使對最小的顆粒或污染物都十分敏感，所以它們必須被保持地十分干凈。目前有很多方法用于減少光罩被顆粒污染的風(fēng)險，包括使用特殊容器或存儲盒來儲存和運(yùn)輸光罩，其后存儲盒會被規(guī)整到一個叫做“存儲柜”的結(jié)構(gòu)中來進(jìn)行簡易地儲存和識別。在有限空間內(nèi)的存儲盒擺放數(shù)量越多，存儲柜的倉儲效率更高。

目前，一些存儲柜采用了一些能降低污染顆粒泄露進(jìn)存儲盒內(nèi)的方法，柜內(nèi)一般具有CDA(潔凈干燥空氣)、N2(氮?dú)?或XCDA(極度潔凈干燥空氣)等保護(hù)氣體來減少存儲盒附近污染顆粒數(shù)量，或防止其他污染氣體進(jìn)入存儲盒。存儲柜內(nèi)包含各種處理這些保護(hù)氣體的機(jī)械設(shè)備，這些部分機(jī)械裝置和設(shè)備通常位于柜上方以便用戶可使用空間最大化。然而這些機(jī)械設(shè)備系統(tǒng)也會產(chǎn)生污染顆粒，這些顆粒會沉降并污染存儲盒外部區(qū)域，光罩雖然仍在存儲盒內(nèi)時被保護(hù)著，但這會增加過程內(nèi)在其他處理步驟中被污染的潛在風(fēng)險。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案為：一種光罩盒存儲柜，包括光罩盒存儲柜以及設(shè)置于光罩盒存儲柜底部的機(jī)械電子區(qū)，所述機(jī)械電子區(qū)底部設(shè)置高架底板、蜂窩底板，所述機(jī)械電子區(qū)內(nèi)設(shè)置保護(hù)氣體進(jìn)入管路、廢氣排出管路，所述保護(hù)氣體進(jìn)入管路與光罩盒存儲柜底部連通，所述廢氣排出管路與光罩盒存儲柜底部連通，并向下穿過高架地板、蜂窩底板，所述機(jī)械電子區(qū)還設(shè)置HEPA過濾器及進(jìn)風(fēng)扇，外部空氣由HEPA過濾器及進(jìn)風(fēng)扇進(jìn)入高架底板、蜂窩地板。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于：(1)本實(shí)用新型設(shè)置帶有保護(hù)氣體(氮?dú)饣蚱渌兔芏榷栊詺怏w)的光罩盒存儲柜，保護(hù)氣體從柜結(jié)構(gòu)頂部或從每層光罩盒存儲區(qū)域的上方進(jìn)入，來置換污染空氣并強(qiáng)制使其向廢氣排放口或存儲區(qū)底部流動，同時，機(jī)械電子區(qū)位于機(jī)器底部來最小化潛在污染光罩存儲盒的顆粒粒子數(shù)。

(2)本實(shí)用新型廢氣排出管路的排氣位置處安裝單向閥，以防止室內(nèi)空氣進(jìn)入柜內(nèi)存儲區(qū)域。

(3)本實(shí)用新型設(shè)置含氧量傳感器來監(jiān)控室內(nèi)氧含量是否過低，若低于安全范圍則觸發(fā)警報的氧傳感器；在保護(hù)氣體進(jìn)入管路進(jìn)口處安裝濕度傳感器，以檢測濕度等級，若濕度過高則停止保護(hù)氣體流動；同時設(shè)置用來調(diào)節(jié)保護(hù)氣體的氣體流量控制器，并在非必要時減少其消耗量的計(jì)時器。

(4)本實(shí)用新型中，經(jīng)過HEPA過濾器的空氣將在設(shè)備上方層流流動并沖洗設(shè)備外表面，當(dāng)柜內(nèi)抽屜被拉出時，空氣層流能夠去除其內(nèi)表面顆粒，使其經(jīng)過抽屜底部板孔后從設(shè)備中移除。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一種光罩盒存儲柜的外部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型一種光罩盒存儲柜中機(jī)械電子區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。通常在此處附圖中描述和示出的本實(shí)用新型實(shí)施例的組件可以以各種不同的配置來布置和設(shè)計(jì)。