[實用新型]一種供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置以及化學品供料系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320571774.4
• 申請日: 2023-03-21
• 公開（公告）號: CN219453675U
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 游浩杰;沙敏;杜曉霞
• 申請（專利權(quán)）人: 上海正帆科技股份有限公司;江蘇正帆半導體設(shè)備有限公司
• 主分類號: F17D3/01
• 分類號: F17D3/01;F17D1/12;F17C13/00;F17C13/04;F16K27/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 呂露

1.一種供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

儲氣單元；

調(diào)壓閥，所述調(diào)壓閥的一端與所述儲氣單元連通；以及

氣動背壓閥，所述氣動背壓閥與所述調(diào)壓閥連通，且所述氣動背壓閥與供料管路連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置還包括安全閥，所述安全閥與連通于所述調(diào)壓閥和所述氣動背壓閥之間的氣體輸送管連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置還包括保護罩，所述調(diào)壓閥和所述安全閥均位于所述保護罩內(nèi)，且所述保護罩的側(cè)壁開設(shè)有操作窗口。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述操作窗口被配置為能夠開閉。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置的氣體通道沿同一預設(shè)直線方向呈直線排布。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)壓閥的進出口和/或所述氣動背壓閥的進氣口均連接有密封接頭。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述氣動背壓閥的外管徑尺寸為12.7mm～25.4mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述氣動背壓閥的外管徑尺寸為19.05mm～25.4mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述氣動背壓閥的物料通道的內(nèi)壁還設(shè)置有保護層。

10.一種化學品供料系統(tǒng)，其特征在于，包括：

供料管路；以及

如權(quán)利要求1～9中任一項所述的供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置，所述供料管路用壓力調(diào)節(jié)裝置與所述供料管路連通。