[實用新型]一種分子束外延設備中的襯底托板有效
| 申請號： | 202320519270.8 | 申請日： | 2023-03-15 |
| 公開（公告）號： | CN219449958U | 公開（公告）日： | 2023-08-01 |
| 發明（設計）人： | 趙旭熠;許東;王瑋竹;尚金銘;唐天義 | 申請（專利權）人： | 上海新微半導體有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/12 | 分類號： | C30B25/12;C30B23/02;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 200120 上海市浦東新區中國(*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 分子 外延 設備 中的 襯底 | ||
1.一種分子束外延設備中的襯底托板，所述襯底托板用于承載并固定晶圓襯底，其特征在于，所述襯底托板包括：
本體，所述本體的形狀為圓環狀且中間設有穿透的環形腔；
內環，所述內環與所述本體同心設置并卡接在所述環形腔內，所述內環包括第一半圓環和第二半圓環，且所述第一半圓環和所述第二半圓環的內壁中心處均開設有卡槽。
2.根據權利要求1所述的襯底托板，其特征在于：所述襯底托板還包括支撐件，其中，所述支撐件為所述內環提供支撐且所述支撐件的直徑小于所述本體的直徑。
3.根據權利要求1所述的襯底托板，其特征在于：所述內環的直徑與所述卡槽的深度之和不小于晶圓襯底的直徑。
4.根據權利要求1所述的襯底托板，其特征在于：所述本體與所述內環的接觸面為斜面，且所述斜面與水平面之間的夾角度數為60°～80°。
5.根據權利要求1所述的襯底托板，其特征在于：所述卡槽為直角向內的三角形卡槽，所述三角形卡槽的深度為0.1mm～0.3mm。
6.根據權利要求1所述的襯底托板，其特征在于：所述卡槽為正方形卡槽，所述正方形卡槽的深度為0.1mm～0.3mm。
7.根據權利要求1所述的襯底托板，其特征在于：所述第一半圓環和所述第二半圓環互不接觸且所述第一半圓環和所述第二半圓環之間形成有縫隙。
8.根據權利要求7所述的襯底托板，其特征在于：所述縫隙的大小為0.25mm。
9.根據權利要求1所述的襯底托板，其特征在于：所述本體與所述內環之間為可拆卸連接。
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