[實用新型]開合遮擋裝置

有效

• 申請號: 202320440644.7
• 申請日: 2023-03-07
• 公開（公告）號: CN219218144U
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發明（設計）人: 劉書雷;許煥峰;柳亞敏
• 申請（專利權）人: 上海實路真空技術工程有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 高彥

本公開實施例中提供開合遮擋裝置，包括：載件、立桿、多組擋片和橫軸、及操作手柄。載件為開孔的環形本體，外壁凸伸形成管腔部，管腔部內具有通孔。立桿可伸縮運動地結合通孔，其一端穿設通孔并伸入開孔至結合于對側的環形本體內壁；立桿在開孔中軸段上延伸間隔設有多個限位組件；每個擋片設有導向槽供立桿穿設，每個擋片結合于一個限位組件以被限制在對應限位空間中；每個橫軸兩端分別跨設在開孔的相對內壁，分別抵靠于每個擋片；操作手柄設于管腔部外，同立桿之間磁力耦合以驅動立桿；立桿的伸縮運動令各限位組件移位，且沿各擋片的導向槽運動，帶動每個擋片繞橫軸發生轉動。通過多擋片轉動的結構實現開合遮擋，占用空間小，且能在真空外操作。

技術領域

本公開涉及真空設備技術領域，尤其涉及開合遮擋裝置。

背景技術

在真空環境中，有時會存在對目標進行可開合遮擋的需求。

舉例來說，真空薄膜制備系統制備薄膜時，材料生長容易蔓延到觀察視窗玻璃上，影響觀察。為此，通常采用視窗擋板安裝到視窗上，在不觀察時將視窗擋板關閉，避免材料生長到視窗玻璃上。

但是，目前采用的擋板是整片式的。擋板在打開時，整片擋板會在轉動過程中向真空腔室側深入。整片擋板的體積較大，占用真空腔室的空間較多。若真空腔室側的空間不夠，則視窗擋板無法完全打開。

發明內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本公開的目的在于提供開合遮擋裝置，既能實現對視窗的良好遮擋，又能減小開合時占用空間，解決相關技術中的問題。

本公開第一方面提供一種開合遮擋裝置，包括：載件，包括具有中部開孔的環形本體，所述環形本體的外壁凸伸形成管腔部，所述管腔部內具有連通所述開孔及管腔部外的通孔；立桿，可伸縮運動地結合所述通孔，其一端穿設所述通孔并伸入開孔至結合于對側的環形本體內壁；所述立桿在位于開孔中的軸段上沿延伸方向間隔設有多個限位組件；每個限位組件形成限位空間；多組擋片及橫軸；每個所述擋片設有導向槽，所述立桿穿設每個擋片的導向槽，且每個擋片被限制地設置在一所述限位組件的限位空間中；每個橫軸兩端分別跨接在所述開孔的相對內側壁；各個橫軸分別抵靠于每個所述擋片；操作手柄，設于所述管腔部外并抵壓立桿，用于接受操作以帶動所述立桿的伸縮運動；其中，所述立桿的伸縮運動令各限位組件移位，且沿各所述擋片的導向槽運動，帶動每個所述擋片繞所抵靠的橫軸發生轉動。

在第一方面的實施例中，所述操作手柄包括：旋鈕，套合于所述管腔且相互螺紋配合，所述螺紋沿管腔部延伸方向設置。

在第一方面的實施例中，所述立桿向載件外伸出管腔部的部分設有擋止部；所述立桿套設有復位彈簧，設于所述擋止部與管腔部朝向所述復位彈簧套設在所述立桿外。

在第一方面的實施例中，所述管腔部內設有波紋管，所述波紋管套設于立桿，且兩端分別固定于立桿及管腔部內壁。

在第一方面的實施例中，所述波紋管為焊接波紋管，其兩端分別與所述立桿及管腔部內壁焊接固定以形成密封連接。

在第一方面的實施例中，每個所述限位組件包括間隔設置的第一擋部和第二擋部，所述第一擋部和第二擋部延伸至所述導向槽的旁側區域；所述第一擋部和第二擋部之間形成所述限位空間；在所述立桿伸縮運動時，第一擋部或第二擋部跟隨運動，以推動對應的擋片。

在第一方面的實施例中，所述導向槽沿垂直所述立桿且遠離所述開孔的方向延伸。

在第一方面的實施例中，環形本體與所述通孔位置對應的內壁形成供結合所述立桿一端的凹部。

在第一方面的實施例中，所述操作手柄與立桿之間異極性相對以相互磁吸。

在第一方面的實施例中，所述載件為法蘭盤。